설치 보고서

DVIA-M Series

07-05-2024

Dongguan Jinuo Thermo Fisher Helios 5 DVIA-MB1000 (230712R3-2) Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

Dongguan Jinuo

Thermo Fisher

Helios 5

SEM

Guangzhou

DVIA-MB1000

230712R3-2

Dongguan Jinuo

Target equipment: Thermo Fisher Helios 5

Place of installation: 广州

Remark: Good Performance

END USER: 东莞瑾诺

(MB1000_ 230712R3-2 Set up)

Operator: Byeonghun Cho Date of setup: 24.06.27 Date of reporting: 24.07.05

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

Overview The DVIA-MB1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended. Measurement date: 2024.06.27 (Thursday) Operator: Byeonghun Cho from DAEIL SYSTEMS Place of measurement: 广州 Equipment Model: Thermo Fisher FE-SEM Helios 5

M3000 internal program performance measurement result

수직

좌우

전후

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일07-05-2024

태그

DVIA-M Series

Installation Report

Dongguan Jinuo

Thermo Fisher

Helios 5

SEM

Guangzhou

DVIA-MB1000

230712R3-2

Dongguan Jinuo Thermo Fisher Helios 5 DVIA-MB1000 (230712R3-2) Installation Report

목차

Dongguan Jinuo

(MB1000_ 230712R3-2 Set up)

개요

수직

좌우

전후

Reference

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