설치 보고서
DVIA-M Series
05-15-2026
TESCAN SOLARIS GMH DVIA-M1000 (230501R3-1) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
PXW
TESCAN
SOLARIS GMH
Shenzhen
DVIA-M1000
230501R3-1
Contents
(M1000_ 230501R3-1 Set up)
대상 장비
TESCAN SOLARIS GMH
설치 장소
Shenzhen
비고
Good Performance
엔드 유저
PXW
Operator
Operator: Park, Jongwon Date of setup: 23.09.19 Date of reporting: 23.09.19
Date of business trip
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
개요
Overview The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended. Measurement date: 2023.09.19 (Tuesday) Operator: DAEIL SYSTEMS Jongwon Park Place of measurement: Shenzhen Equipment Model: TESCAN SOLARIS GMH
5.
M1000 내부 프로그램 성능 측정 결과
Z축
X축
Y축
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-15-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
PXW
TESCAN
SOLARIS GMH
Shenzhen
DVIA-M1000
230501R3-1
