Samsung Electro-Mechanics Suwon FCB PST DVIA-P2200 Installation Report
Contents
개요
삼성전기 수원사업장에 설치된 DVIA-P2200에 대한 설치 튜닝 및 진동 측정 (추후 삼성전기 부산사업장으로 이전설치 예정)
장비 IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였음. (일반적으로 10-30Hz 장비 진동이 존재하지만 장비 IDLE 상태의 매우 작은 것으로 측정됨)
바닥진동이 적은 환경이지만, X, Y, Z축 모두 양호한 성능을 보이며, 진동레벨 VC-G 등급입니다.
시스템 정보
모델: DVIC-P2200-1500x1300x1415H
시리얼 넘버: 230417R6
엔지니어
대일시스템 이영하, 박종원
출장 일자: 17.12.27~17.12.29
보고서 작성일: 24.01.03
점검 날짜
2023년 12월 29일
설치 장소
삼성전기 B1동, Suwon
End User
삼성전기
장비
삼성전기 기판검사기 FCB PST
진동 측정 결과 요약
바닥 기준 — Floor 위치 바닥으로 측정
| 측정점 | Z축(수직) 1-10 Hz | Z축(수직) 12.5-80 Hz | X축(좌우) 1-10 Hz | X축(좌우) 12.5-80 Hz | Y축(전후) 1-10 Hz | Y축(전후) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | G | F | G | G | F | E |
| Active | G | G | G | G | G | G |
모든 주파수 대역에서 지반진동을 감쇠하여 Active 측정 부 진동 레벨 VC-G입니다.
Frame 기준 — Floor 위치 Frame으로 측정
| 측정점 | Z축(수직) 1-10 Hz | Z축(수직) 12.5-80 Hz | X축(좌우) 1-10 Hz | X축(좌우) 12.5-80 Hz | Y축(전후) 1-10 Hz | Y축(전후) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | G | D | G | C | F | C |
| Active | G | G | G | G | G | G |
모든 주파수 대역에서 지반진동을 감쇠하여 Active 측정 부 진동 레벨 VC-G입니다.
진동 측정
PULSE 22
Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040
Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)
Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
데이터 및 이미지
Accelerometer Sensor
Displacement Sensor
가속도 센서와 변위 센서가 진동의 변화를 올바르게 센싱하고 정상 작동합니다.
Z-axis (Vertical) Passive Transmissibility
Z-axis (Vertical) Feedforward Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 5Hz로 올바르게 출력됩니다.
50Hz대역에서 Peak형태의 진동이 측정되지만 -10dB 정도로 감쇠 되었습니다.
Active Transmissibility Graph에서는 2Hz 대역에서 Transmissibility -10dB 이상 올바르게 제진합니다.
50Hz대역의 Peak 형태의 진동이 측정되지만 -10dB 정도로 감쇠 되었습니다.
X-axis (Left to Right) Passive Transmissibility
X-axis (Left to Right) Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 5, 9Hz로 올바르게 출력됩니다.
50Hz대역에서 Peak형태의 진동이 측정되지만 -10dB 정도로 감쇠 되었습니다.
Active Transmissibility Graph에서는 2-3Hz 대역에서 Transmissibility -10dB 이상 올바르게 제진합니다.
25Hz대역에서 공진봉이 존재하지만 -10dB 이하입니다.
Y-axis (Front to Back) Passive Transmissibility
Y-axis (Front to Back) Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 4, 8Hz로 올바르게 출력됩니다.
Active Transmissibility Graph에서는 4Hz 대역에서 Transmissibility -10dB 이상 올바르게 제진합니다.
22Hz대역에서 공진봉이 존재하지만 -10dB 이하입니다.
Z-axis (Vertical) VC curves (Floor: 바닥)
Floor Sensor를 설치 장소 바닥에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 바닥진동은 25Hz대역까지 VC-G로 매우 낮고 30Hz에서 VC-F까지 증가합니다.
Top Sensor를 제진대 위 석정반에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 1-10Hz 대역에서는 VC-G 이하로 진동이 적어 비례진동 감쇠의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다. 모든 주파수 대역에서 VC-G이하의 진동이 측정되었습니다.
Z-axis (Vertical) VC curves (Floor: Frame)
Floor Sensor를 제진대 하부 Frame에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 바닥진동은 20Hz대역까지 VC-G로 매우 낮고 30Hz에서 VC-F, 50Hz에서 VC-D까지 증가합니다. 하부 Frame에 연결된 Utility 혹은 Sub 장비의 영향입니다.
Top Sensor를 제진대 위 석정반에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 위 그래프와 동일하게 모든 주파수 대역에서 VC-G이하의 진동이 측정되었습니다.
X-axis (Left to Right) VC curves (Floor: 바닥)
Floor Sensor를 설치 장소 바닥에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 바닥진동은 25Hz대역까지 VC-G로 매우 낮고 30Hz에서 VC-F까지 증가합니다.
Top Sensor를 제진대 위 석정반에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 1-10Hz 대역에서는 VC-G 이하로 진동이 적어 비례진동 감쇠의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다. 모든 주파수 대역에서 VC-G이하의 진동이 측정되었습니다.
X-axis (Left to Right) VC curves (Floor: Frame)
Floor Sensor를 제진대 하부 Frame에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 바닥진동은 20Hz대역까지 VC-G로 매우 낮고 30Hz에서 VC-E, 50Hz에서 VC-C까지 증가합니다. 하부 Frame에 연결된 Utility 혹은 Sub 장비의 영향입니다.
Top Sensor를 제진대 위 석정반에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 위 그래프와 동일하게 모든 주파수 대역에서 VC-G이하의 진동이 측정되었습니다. 10Hz대역에서 감쇠율이 적지만 위의 그래프와 비교했을 때 측정 당시 일시적 진동으로 판단됩니다.
Y-axis (Front to Back) VC curves (Floor: 바닥)
Floor Sensor를 설치 장소 바닥에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 바닥진동은 8Hz대역까지 VC-G로 매우 낮지만 10-13Hz에서 VC-E까지 증가합니다.
Top Sensor를 제진대 위 석정반에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 1-10Hz 대역에서는 VC-G 이하로 진동이 적어 비례진동 감쇠의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다. 모든 주파수 대역에서 VC-G이하의 진동이 측정되었습니다.
Y-axis (Front to Back) VC curves (Floor: Frame)
Floor Sensor를 제진대 하부 Frame에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 바닥진동은 8Hz대역까지 VC-G로 매우 낮고 10Hz에서 VC-F, 50Hz에서 VC-C까지 증가합니다. 하부 Frame에 연결된 Utility 혹은 Sub 장비의 영향입니다.
Top Sensor를 제진대 위 석정반에 배치하고 진동측정 진행했습니다. 위 그래프와 동일하게 모든 주파수 대역에서 VC-G이하의 진동이 측정되었습니다.
참고자료
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드에서 측정하고, VC-C~VC-G는 1–80 Hz에서 측정합니다.
2. 디테일 사이즈는 반도체 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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