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설치 보고서
DVIA-P Series
04-17-2024

Samsung Electro Busan FCB PSP DVIA-P2200 (230417R6) Installation Report — 2024-04-17

DVIA-P Series
Installation Report
Samsung Electro
Busan
FCB PSP
DVIA-P2200
230417R6

개요

삼성전기 부산사업장으로 이전 설치된 DVIC-P2200에 대한 SET-UP 및 진동측정 진행했습니다.

04월 16일 DVIC-P2200을 Level Foot으로 지지하고 있는 것을 확인하였습니다. 04월 17일 라이너를 사용해 수평을 맞춘 뒤 Level Foot을 해제한 후 DVIC-P2200 Frame으로 지지했습니다.

PSP 1호기 Frame에 연결된 철골 및 케이블을 확인하였습니다. 또한 장비 IDLE 상태에서 튜닝은 DVIC-P2200의 제진 성능에 영향을 줄 수 있습니다.

튜닝 완료 후 측정 Data를 VC Curve Graph에 표기하였습니다.

제진대

모델: DVIC-P2200 – 1500 X 1300 X 1415H

시리얼 번호: 230417R6

엔지니어

대일시스템 박종원 사원, 이채원 사원

설치 날짜

2024년 04월 17일

설치 장소

삼성전기 부산사업장 FCB동 3층

고객사 장비

FCB PSP 1호기

장비 진동 스펙

VC-B

장비 상태

Equipment is installed/IDLE

튜닝 날짜

2024년 04월 17일

튜닝 횟수

2회차(1회차 수원)

진동 측정 장비

10.1) PULSE 22

-Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040

-Software: LapShop Application (PULSE Lapshop)

10.2) Accelerometer

- PCB Accelerometer

- Model: 393B05

진동 측정 Setup

11.1) 측정 setting

Bandwidth: 0 – 200 Hz

Lines: 801

Analyzer: FFT Spectrum Averaging

Signal Units: m/s2

Spectral Units: rms

11.2) 측정 방법

상부(DVIC-P2200 석정반)와 하부(바닥)에 진동 측정용 가속도 센서를 부착합니다.

Vertical, Left to Right, Front to Back 세 방향으로 진동을 측정합니다.

결론

진동 측정 결과 Vertical, Left to Right, Front to Back 모두 저주파에서 진동이 상승하는 경향을 보입니다. 이는 주변 공사에 의한 것으로 PSP 1호기 Frame과 연결된 철골과, 철골에 연결된 케이블을 타고 들어오는 외부 진동에 의한 영향으로 보입니다.

Vertical, Left to Right, Front to Back 모두 2 - 5 Hz 이후 제진이 시작됩니다.

Vertical, Left to Right, Front to Back 모두 63 Hz에서 진동이 상승합니다. 이는 장비 IDLE 상대태에 의한 진동으로 보입니다.

공사 완료 후 재방문 하여 제진대 상부에 설치되어 있는 장비에 직접적으로 전해지는 진동이 없는 조건에서 재튜닝이 필요합니다.

모든 주파수 대역에서 장비 진동 스펙을 만족합니다.

제진대의 정확한 제진 성능을 확인하기 위해서는 PSP 1호기의 완벽한 Turn Off가 필요합니다.

측정 데이터

Type측정 장소방향SpecificationFloorDVIA-PB2200결과 (Floor)결과 (DVIA-PB2200)
VibrationFCB동
3층
Vertical5.07E-05 - 4.06E-05
@ 4 - 5 Hz
6.36E-06
@ 5 Hz
2.25E-06
@ 5 Hz
PASSPASS
4.06E-05 - 3.22E-05
@ 5 - 6.25 Hz
7.41E-06
@ 6.25 Hz
2.87E-06
@ 6.25 Hz
PASSPASS
3.22E-05 - 2.5E-05
@ 6.25- 8 Hz
3.14E-06
@ 8 Hz
2.44E-06
@ 8 Hz
PASSPASS
2.5E-05
@ 8 - 80 Hz
4.82E-06
@ 12.5 Hz
1.93E-06
@ 12.5 Hz
PASSPASS
Left to Right5.07E-05 - 4.06E-05
@ 4 - 5 Hz
4.91E-06
@ 5 Hz
2.86E-06
@ 5 Hz
PASSPASS
4.06E-05 - 3.22E-05
@ 5 - 6.25 Hz
4.43E-06
@ 6.25 Hz
2.17E-06
@ 6.25 Hz
PASSPASS
3.22E-05 - 2.5E-05
@ 6.25- 8 Hz
2.94E-06
@ 8 Hz
2.05E-06
@ 8 Hz
PASSPASS
2.5E-05
@ 8 - 80 Hz
2.90E-06
@ 20 Hz
5.48E-07
@ 20 Hz
PASSPASS
Front to Back5.07E-05 - 4.06E-05
@ 4 - 5 Hz
2.81E-06
@ 4 Hz
3.45E-06
@ 4 Hz
PASSPASS
4.06E-05 - 3.22E-05
@ 5 - 6.25 Hz
2.20E-06
@ 5 Hz
3.31E-06
@ 5 Hz
PASSPASS
3.22E-05 - 2.5E-05
@ 6.25- 8 Hz
2.97E-06
@ 6.25 Hz
2.02E-06
@ 6.25 Hz
PASSPASS
2.5E-05
@ 8 - 80 Hz
2.47E-06
@ 10 Hz
1.07E-06
@ 10 Hz
PASSPASS

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Transmissibility

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일04-17-2024
태그
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Installation Report
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Busan
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DVIA-P2200
230417R6