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설치 보고서
DVIA-M Series
02-07-2023

Oak Ridge National Laboratory Zeiss Gemini SEM 460 DVIA-MB1000 VEC (221013R2) Installation Report — 2023.02.07

DVIA-M Series
Installation Report
VEC
DVIA-MB1000
Oak Ridge National Laboratory
ORNL
ZEISS
Gemini SEM 460
221013R2

Contents

Prepared for

Toya Beiswenger PhD

Prepared by

Engineer: Hosang Yu Tuning date: 23.02.01 Report written date: 23.02.07 | Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

DVIA-MB1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

시스템 정보

Model: DVIA-MB1000-1000X1200X224H

Serial Number: 221013R2

Engineer: Hosang Yu from DAEIL SYSTEMS

Tuning Date: February 01, 2023

Location: Oak Ridge National Labs / 1 Bethel Valley Road Oak Ridge / Tennessee 378311

Equipment: Zeiss Gemini SEM 460

데이터 및 이미지

Z-axis (Vertical) Transmissibility with Stomping

Z-axis (Vertical) Floor VC Curve with Stomping

Z-axis (Vertical) Active VC Curve with Stomping

X-axis (Left to Right) Transmissibility

X-axis (Left to Right) Floor VC Curve

X-axis (Left to Right) Active VC Curve

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

Y-axis (Front to Back) Floor VC Curve

Y-axis (Front to Back) Active VC Curve

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		상세 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-07-2023
태그
DVIA-M Series
Installation Report
VEC
DVIA-MB1000
Oak Ridge National Laboratory
ORNL
ZEISS
Gemini SEM 460
221013R2

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