설치 보고서
DVIA-M Series
02-01-2023
Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P2 ZEISS Crossbeam 550 DVIA-MB1000 Installation Report (220902R5)
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Pyeongtaek
ZEISS
Crossbeam 550
DVIA-MB1000
Contents
개요
DVIA-MB1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 220902R5
담당 엔지니어
Sangjae Lee, Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2023년 2월 1일
보고서 작성일
2023년 2월 1일
출장 일정
17.12.27~17.12.29
설치 위치
Tier-1 Semiconductor 평택 P2 3F FA분석실
장비
Crossbeam 550
현장 요약
Tier-1 Semiconductor 담당자 사정으로 데이터 반출 불가.
ZEISS 담당자 요청에 따라 정보 기입 형식으로 정리.
공개 케이스: 측정 곡선·보고서 이미지는 게시하지 않음.
Z축(수직) 전달률
2Hz에서 약 26db, 특이사항 없음
X축(좌우) 전달률
2Hz에서 약 30db, 특이사항 없음
Y축(전후) 전달률
2Hz에서 약 33db, 특이사항 없음
Z축(수직) 진동 측정
VC-C에서 VC-G
X축(좌우) 진동 측정
VC-D에서 VC-G
Y축(전후) 진동 측정
VC-C에서 VC-F
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-01-2023
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Pyeongtaek
ZEISS
Crossbeam 550
DVIA-MB1000
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