설치 보고서
DVIA-ULF Series
11-22-2023
ARCHE Semilab AFM-2000 DVIA-UB350 (220621R1) Inspection Report
DVIA-ULF Series
Inspection Report
ARCHE
Semilab
AFM-2000
DVIA-UB350
220621R1
목차
Prepared for
ARCHE
Prepared by
| Engineer: Youngha Lee Tuning date: 23.11.21 Report written date: 23.11.22 | Date of business trip : 17.12.27~17.12.29 |
|---|
개요
The DVIA-UB350 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
시스템 정보
Model: DVIA-UB350
Serial Number: 220621R1
Engineer: Youngha Lee, from DAEIL SYSTEMS
Tuning Date: November 21, 2023
Location: ARCHE, 화성시 안녕길 147
Equipment: AFM-2000
진동 측정 결과 요약
평상 시 진동 측정
| Measurement Point | Z-axis (Vertical) 1–10 Hz | Z-axis (Vertical) 12.5–80 Hz | X-axis (Left to Right) 1–10 Hz | X-axis (Left to Right) 12.5–80 Hz | Y-axis (Front to Back) 1–10 Hz | Y-axis (Front to Back) 10–80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | D | C | C | C | D | D |
| Active | G | G | F | G | G | G |
AFM 작동 시 진동 측정
| Measurement Point | Z-axis (Vertical) 1–10 Hz | Z-axis (Vertical) 12.5–80 Hz | X-axis (Left to Right) 1–10 Hz | X-axis (Left to Right) 12.5–80 Hz | Y-axis (Front to Back) 1–10 Hz | Y-axis (Front to Back) 10–80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | E | C | D | F | C | D |
| Active | G | G | F | E | F | G |
데이터 및 이미지
Z-axis (Vertical) Transmissibility
Z-axis (Vertical) VC-Curve graph(평상시)
Z-axis (Vertical) VC-Curve graph (AFM 작동 시)
제진대 하부의 진동 레벨은 VC-G로 매우 좋은 상태입니다.
AFM작동 시에도 진동레벨에는 큰 변화가 없습니다.
X-axis (Left to Right) Transmissibility
X-axis (Vertical) VC-Curve graph(평상시)
X-axis (Vertical) VC-Curve graph (AFM 작동 시)
제진대 하부의 진동 레벨은 VC-F로 매우 좋은 상태입니다.
AFM작동 시 60Hz에서 전기 Noise로 의심되는 값이 출력되었습니다.
피크 형태의 진동으로 이러한 형태는 일반적으로 전기 Noise입니다.
Y-axis (Front to Back) Transmissibility
Y-axis (Vertical) VC-Curve graph(평상시)
Y-axis (Vertical) VC-Curve graph (AFM 작동 시)
제진대 하부의 진동 레벨은 VC-G로 매우 좋은 상태입니다.
AFM작동 시에도 진동레벨에는 큰 변화가 없습니다.
참고자료
참고:
1. VC-A/B는 8–80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C–VC-G는 1–80 Hz에서 측정합니다.
2. Detail size는 전자소자 제조의 선폭 또는 의학 연구의 입자 크기를 가리킵니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일11-22-2023
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DVIA-ULF Series
Inspection Report
ARCHE
Semilab
AFM-2000
DVIA-UB350
220621R1
