설치 보고서
DVIA-ULF Series
11-21-2023
ARCHE Semilab AFM-2000 DVIA-UB350 Inspection Report
DVIA-ULF Series
Inspection Report
ARCHE
Semilab
AFM
목차
개요
DVIA-UB350 능동형 진동 절연 플랫폼이 적절하게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.
시스템 정보
모델: DVIA-UB350
시리얼 번호: 220621R1
엔지니어: Youngha Lee, from DAEIL SYSTEMS
튜닝 날짜: 2023년 11월 21일
위치: ARCHE, 경기도 화성시 병점구 안녕길 147 (안녕동)
장비: AFM-2000
진동 측정 결과 요약
평상 시 진동 측정
| 측정 지점 | Z축 (수직) 1–10 Hz | Z축 (수직) 12.5–80 Hz | X축 (좌우) 1–10 Hz | X축 (좌우) 12.5–80 Hz | Y축 (전후) 1–10 Hz | Y축 (전후) 10–80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | D | C | C | C | D | D |
| Active (DVIA-UB350) | G | G | F | G | G | G |
AFM 작동 시 진동 측정
| 측정 지점 | Z축 (수직) 1–10 Hz | Z축 (수직) 12.5–80 Hz | X축 (좌우) 1–10 Hz | X축 (좌우) 12.5–80 Hz | Y축 (전후) 1–10 Hz | Y축 (전후) 10–80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | E | C | D | F | C | D |
| Active (DVIA-UB350) | G | G | F | E | F | G |
데이터 및 이미지
Z축 (수직) 전달률
Z축 (수직) VC 곡선 — 평상시
Z축 (수직) VC 곡선 — AFM 작동 시
제진대 하부의 진동 레벨은 VC-G로 매우 좋은 상태입니다. AFM 작동 시에도 진동레벨에는 큰 변화가 없습니다.
X축 (좌우) 전달률
X축 (좌우) VC 곡선 — 평상시
X축 (좌우) VC 곡선 — AFM 작동 시
제진대 하부의 진동 레벨은 VC-F로 매우 좋은 상태입니다. AFM 작동 시 60Hz에서 전기 Noise로 의심되는 값이 출력되었습니다. 피크 형태의 진동으로 이러한 형태는 일반적으로 전기 Noise입니다.
Y축 (전후) 전달률
Y축 (전후) VC 곡선 — 평상시
Y축 (전후) VC 곡선 — AFM 작동 시
제진대 하부의 진동 레벨은 VC-G로 매우 좋은 상태입니다. AFM 작동 시에도 진동레벨에는 큰 변화가 없습니다.
참조
일반 진동 기준
*참고:*
- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일11-21-2023
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DVIA-ULF Series
Inspection Report
ARCHE
Semilab
AFM
