설치 보고서
DVIA-P Series
05-21-2026
Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek EUV Line ADVANTEST E5620 DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ADVANTEST
E5620
220617R5
Contents
개요
DVIA-P4000 능동 제진 플랫폼이 적절히 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.
작성
Engineer: Youngha Lee
Tuning date: 23.11.01
Report written date: 23.11.07
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
진동 제어 시스템 정보
Model: DVIA-P4000
Serial Number: 220617R5
엔지니어
Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
November 01, 2023
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 평택 P3 라인
장비
ADVANTEST E5620
진동 결과 요약
| Measurement Point | Z-axis (Vertical) 1-10 Hz | Z-axis (Vertical) 12.5-80 Hz | X-axis (Left to Right) 1-10 Hz | X-axis (Left to Right) 12.5-80 Hz | Y-axis (Front to Back) 1-10 Hz | Y-axis (Front to Back) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | F | C | C | C | C | D |
| Active | G | F | F | E | F | F |
데이터 및 이미지
Z축(수직) 전달률
Z축(수직) VC 곡선
X축(좌우) 전달률
X축(좌우) VC 곡선
Y축(전후) 전달률
Y축(전후) VC 곡선
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일05-21-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ADVANTEST
E5620
220617R5
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