설치 보고서
DVIA-P Series
09-19-2023
Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P3 Line ADVANTEST E5620 DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ADVANTEST
E5620
220617R5
Contents
고객사
Tier-1 Semiconductor
작성
Engineer: Youngha Lee
Tuning date: 23.09.14
Report written date: 23.09.19
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
개요
The DVIA-P4000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
진동 제어 시스템 정보
Model: DVIA-P4000
Serial Number: 220617R2
엔지니어
Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
September 14, 2023
설치 위치
Samsung P3 line, Pyeongtaek
장비
ADVANTEST E5620
진동 결과 요약
| Measurement Point | Z-axis (Vertical) 1-10 Hz | Z-axis (Vertical) 12.5-80 Hz | X-axis (Left to Right) 1-10 Hz | X-axis (Left to Right) 12.5-80 Hz | Y-axis (Front to Back) 1-10 Hz | Y-axis (Front to Back) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | E | C | D | A | C | C |
| Active | F | F | F | E | E | F |
데이터 및 이미지
Z-axis (Vertical) Transmissibility
Z-axis (Vertical) VC curves
X-axis (Left to Right) Transmissibility
X-axis (Left to Right) VC curves
Y-axis (Front to Back) Transmissibility
Y-axis (Front to Back) VC curves
참고자료
Generic Vibration Criteria
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일09-19-2023
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ADVANTEST
E5620
220617R5
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