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설치 보고서
DVIA-P Series
05-12-2023

Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P3 E5610 DVIA-P4000 Installation Report

DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
E5610

Contents

작성

Engineer: Hosang Yu, Youngha Lee

Tuning date: 23.05.12

Report written date: 23.06.28

개요

The DVIA-P4000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

시스템 정보

Model: DVIA-P4000

Serial Number: 220617R2

엔지니어

Hosang Yu, Younga Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 날짜

May 12, 2023

설치 장소

Tier-1 Semiconductor 평택 P3 라인

장비

E5610

데이터 및 이미지

Z-axis (Vertical) Transmissibility

Z-axis (Vertical) VC curves

X-axis (Left to Right) Transmissibility

X-axis (Left to Right) VC curves

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

Y-axis (Front to Back) VC curves

Transmissibility

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일05-12-2023
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
E5610

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