설치 보고서

DVIA-M Series

08-25-2023

University of North Dakota TFS HT Tank 200 kV DVIA-MB1000 VEC (220524R4) Installation Report — 2023.08.25

DVIA-M Series

Installation Report

University of North Dakota

VEC

DVIA-MB1000

220524R4

Thermo Fisher

HT Tank

의뢰 기관

University of North Dakota

작성자

N/A

개요

The DVIA-MB1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

시스템 정보

Model: DVIA-MB1000 - 910 x 1140 mm

Serial Number: 220524R4

엔지니어

Youngha Lee, Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS

튜닝 날짜

August 25, 2023

보고서 작성일

23.09.06

출장 날짜

17.12.27~17.12.29

측정 장소

University of North Dakota Whitmer Hall

장비

TFS HT Tank 200 kV

진동 결과 요약

측정 지점	Z축(수직) 1-10 Hz	Z축(수직) 12.5-80 Hz	X축(좌우) 1-10 Hz	X축(좌우) 12.5-80 Hz	Y축(전후) 1-10 Hz	Y축(전후) 12.5-80 Hz
Floor	F	D	G	F	G	G
Active	G	G	G	G	G	G

데이터 및 이미지

8.1 UI Program Transmissibility

Z-axis (Vertical)

X-axis (Left to Right)

Y-axis (Front to Back)

VEC Measurement

Z-axis (Vertical) Floor VC Curve

Z-axis (Vertical) Active VC Curve

X-axis (Left to Right) Floor VC Curve

X-axis (Left to Right) Active VC Curve

Y-axis (Front to Back) Floor VC Curve

Y-axis (Front to Back) Active VC Curve

Transmissibility Graph

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	상세 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일08-25-2023

태그

DVIA-M Series

Installation Report

University of North Dakota

VEC

DVIA-MB1000

220524R4

Thermo Fisher

HT Tank

University of North Dakota TFS HT Tank 200 kV DVIA-MB1000 VEC (220524R4) Installation Report — 2023.08.25

Contents

의뢰 기관

작성자

개요

시스템 정보

엔지니어

튜닝 날짜

보고서 작성일

출장 날짜

측정 장소

장비

진동 결과 요약

데이터 및 이미지

8.1 UI Program Transmissibility

Z-axis (Vertical)

X-axis (Left to Right)

Y-axis (Front to Back)

VEC Measurement

Z-axis (Vertical) Floor VC Curve

Z-axis (Vertical) Active VC Curve

X-axis (Left to Right) Floor VC Curve

X-axis (Left to Right) Active VC Curve

Y-axis (Front to Back) Floor VC Curve

Y-axis (Front to Back) Active VC Curve

Transmissibility Graph

Reference

일반 진동 기준

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

관련 케이스 스터디

University of North Dakota Thermo Fisher Talos F200X DVIA-MB3000 VEC (221104R3) Installation Report — 2023.08.25

YIMO Changping P3 Laboratory Thermo Fisher HT Tank DVIA-MB1000 (250708R5-2) Installation Report

Dongguan Jinuo Thermo Fisher Helios 5 DVIA-MB1000 (230712R3-2) Installation Report