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설치 보고서
DVIA-M Series
05-16-2026

SNU Precision DUAL BEAM DVIA-MB1000 (220216R3) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
SNU Precision
DUAL BEAM
DVIA-MB1000

개요

DVIA-MB1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MB1000

시리얼 넘버: 220216R3

담당 엔지니어

대일시스템 이영하 사원, 이상재 대리

튜닝 일자

2022년 12월 21일

보고서 작성일

2022년 12월 22일

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

End User

SNU Precision

설치 위치

SNU Precision 본사 C/R, 아산

장비

장비 명: DUAL BEAM

측정 장비

7.1) Data Physics

Hardware: Quattro, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

7.2) Measurement Setting

Bandwidth: 0 – 80 Hz

Lines: 800

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s^2

7.3) Sensor

PCB Accelerometer

Model: 393B05

측정 결과 요약

측정 지점VC curvesZ축(수직) 1-10 HzZ축(수직) 12.5-80 HzX축 (좌->우 방향) 1-10 HzX축 (좌->우 방향) 12.5-80 HzY축 (앞->뒤 방향) 1-10 HzY축 (앞->뒤 방향) 12.5-80 Hz
바닥FFFGFG
상판GGGGGG

데이터 및 이미지

Z축(수직) 바닥 VC 곡선

Z축(수직) 액티브 VC 곡선

X축 (좌->우 방향) 바닥 VC 곡선

X축 (좌->우 방향) 액티브 VC 곡선

Y축 (앞->뒤 방향) 바닥 VC 곡선

Y축 (앞->뒤 방향) 액티브 VC 곡선

진동전달률(Transmissibility)

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-16-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
SNU Precision
DUAL BEAM
DVIA-MB1000