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설치 보고서
DVIA-ULF Series
09-14-2022

New National Metrology Centre GBI DVIA-UB700 (220209R02) Installation Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
New National Metrology Centre
Singapore
DVIA-UB700
220209R02
GBI

목차

작성 대상

New National Metrology Centre

작성자

엔지니어: Seounghoon Cheon

튜닝 일자: 22.09.06

보고서 작성일: 22.09.14

출장 일자: 17.12.27~17.12.29

개요

The DVIA-UB700 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

시스템 정보

모델: DVIA-UB700

시리얼 번호: 220209R02

엔지니어

Seounghoon Cheon, from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2022년 9월 6일

위치

2 Fusionopolis Way, Singapore

장비

GBI system/ 600kg

데이터 및 이미지

Z축 (수직) 전달률

X축 (좌우) 전달률

Y축 (전후) 전달률

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~VC-G는 1–80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정합니다.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일09-14-2022
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
New National Metrology Centre
Singapore
DVIA-UB700
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