설치 보고서

DVIA-M Series

03-20-2026

DIAT Pune India DVIA-MO1000 Five-Unit Bench (211126R3-1–5) Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

India

Pune

DIAT Pune India

DVIA-MO1000

211126R3

Optical table

작성자

Engineer: Chaewon Lee

Tuning date: 26.03.18

Report written date: 26.03.20

개요

The DVIA-MO1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-MO1000

Serial Number: 211126R3-1,2,3,4,5

엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

March 18, 2026

최종 사용자

DIAT Pune India

튜닝 횟수

1st

설치 위치

DIAT Pune India

장비 상태

The equipment is uninstalled

튜닝 결과

Floor vibration is attenuated by more than 90% in the 2–10 Hz frequency range in all directions

측정 데이터 (UI 프로그램)

10-1) 211126R3-1 Data

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

10-2) 2111263R3-2 Data

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

10-3) 211126R3-3

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

10-4) 211126R3-4

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

10-5) 211126R3-5

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비 사진

참조

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~VC-G는 1–80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일03-20-2026

태그

DVIA-M Series

Installation Report

India

Pune

DIAT Pune India

DVIA-MO1000

211126R3

Optical table

DIAT Pune India DVIA-MO1000 Five-Unit Bench (211126R3-1–5) Installation Report

Contents

작성자

개요

진동 제어 시스템 정보

엔지니어

튜닝 일자

최종 사용자

튜닝 횟수

설치 위치

장비 상태

튜닝 결과

측정 데이터 (UI 프로그램)

10-1) 211126R3-1 Data

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

10-2) 2111263R3-2 Data

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

10-3) 211126R3-3

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

10-4) 211126R3-4

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

10-5) 211126R3-5

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비 사진

참조

일반 진동 기준

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