설치 보고서

DVIA-M Series

11-21-2022

Youngwoo DSP Cheonan DVIA-MO1000 (211012R12-2) Installation Report — November 21, 2022

DVIA-M Series

Installation Report

Youngwoo DSP

Cheonan

DVIA-MO1000

211012R12-2

Prepared for

㈜영우디에스피

Engineer: Youngha Lee

Tuning date: 22.11.21

Report written date: 22.11.21

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

㈜영우디에스피 천안 본사 1층 Testbed Cleanroom에 설치된 소재부품기술개발 과제 2차년도 공압식 능동형(Active) 제진대 제품으로 제진대 자체 성능측정 (UI Program을 통한 튜닝과 진동 측정) 진행

시스템 정보

모델: DVIA-MO1000-2412M-300t-100H

시리얼 넘버: 211012R12-2

Engineer

DAEIL SYSTEMS 개발팀 이영하(youngha.lee@daeilsys.com)

튜닝 일자

2022년 11월 21일

설치 위치

충청남도 천안, 영우DSP 본사 1층 Cleanroom

Equipment

소재부품기술개발 제진대 개발 장비

진동 측정 장비

7.1) PULSE 22

Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040

Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)

LAN-XI 입력 모듈

Pulse LabShop 소프트웨어 화면

7.2) Acceleration Sensor

PCB Accelerometer

Model: 393B05

PCB Piezotronics 가속도계 삽화

진동 결과 요약

8.1) VC-Curve

N/A

8.2) Transmissibility

데이터 및 이미지

9.1) Z축(수직) VC curves

9.2) Z축(수직) 진동 전달률(Transmissibility)

-10Hz에서 -30.85dB의 진동 전달률

9.3) X축(오른쪽->왼쪽 방향 측정) VC curves

9.4) X축(오른쪽->왼쪽 방향 측정) 진동 전달률(Transmissibility)

-10Hz에서 -33.46dB의 진동 전달률

9.5) Y축(뒤->앞 방향 측정) VC curves

9.6) Y축(앞->뒤 방향 측정) 진동 전달률(Transmissibility)

-10Hz에서 -33.83dB의 진동 전달률

9.7) 제품 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일11-21-2022

태그

DVIA-M Series

Installation Report

Youngwoo DSP

Cheonan

DVIA-MO1000

211012R12-2

Youngwoo DSP Cheonan DVIA-MO1000 (211012R12-2) Installation Report — November 21, 2022

목차

Prepared for

개요

시스템 정보

Engineer

튜닝 일자

설치 위치

Equipment

진동 측정 장비

7.1) PULSE 22

LAN-XI 입력 모듈

Pulse LabShop 소프트웨어 화면

7.2) Acceleration Sensor

PCB Piezotronics 가속도계 삽화

진동 결과 요약

8.1) VC-Curve

8.2) Transmissibility

데이터 및 이미지

9.1) Z축(수직) VC curves

9.2) Z축(수직) 진동 전달률(Transmissibility)

9.3) X축(오른쪽->왼쪽 방향 측정) VC curves

9.4) X축(오른쪽->왼쪽 방향 측정) 진동 전달률(Transmissibility)

9.5) Y축(뒤->앞 방향 측정) VC curves

9.6) Y축(앞->뒤 방향 측정) 진동 전달률(Transmissibility)

9.7) 제품 사진

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