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설치 보고서
DVIA-M Series
06-27-2022

Youngwoo DSP Cheonan Testbed DVIA-MO1000 (211012R12-1) Installation Report — June 27, 2022

DVIA-M Series
Installation Report
Youngwoo DSP
Cheonan
DVIA-MO1000
211012R12-1

Prepared for

영우 DSP

Engineer: Youngha Lee

Tuning date: 22.06.23

Report written date: 22.06.27

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

소재부품 기술개발과제 1차년도 제진대 제품으로 영우 DSP 1층 Testbed Cleanroom에 설치된, 제진대 2대 중 1대 이전 설치 후 SETUP 및 진동측정 진행

시스템 정보

모델: DVIA-MO1000

시리얼 넘버: 211012R12-1

담당 엔지니어

DAEIL SYSTEMS 개발팀 이영하(youngha.lee@daeilsys.com)

튜닝 일자

2022년 06월 23일 14시

설치 위치

충청남도 천안시 서북구 영우DSP 본사 1층 Cleanroom

장비

개발 장비

DAQ System: B&K PULSE 22 & LAN-XI Type 3050

Accelerometer: PCB PIEZOTRONICS 393B05

진동 결과 요약

측정 지점Z축(수직) 1–10 HzZ축(수직) 10–80 HzX축(좌우) 1–10 HzX축(좌우) 10–80 HzY축(전후) 1–10 HzY축(전후) 10–80 Hz
FloorGFGGGG
ActiveGFGGGF

데이터 및 이미지

Z축(수직) VC 곡선

Z축(수직) 전달률

X축(좌우) VC 곡선

X축(좌우) 전달률

Y축(전후) VC 곡선

Y축(전후) 전달률

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
Detail Size
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 인지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)해당 없음
Office (ISO)인지되는 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)해당 없음
Residential Area (ISO)거의 인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 인지되지 않음. 수술실, 최대 100배 현미경 등에 적합.100 (4,000)25
VC-A최대 400배 광학 현미경, 마이크로 밸런스 등에 적합.50 (2,000)8
VC-B최대 3µm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C최대 1000배 광학 현미경, 최대 1µm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-DSEM/TEM 등 고난도 장비를 포함한 요구 수준 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-BEAM 리소그래피 등 최고 난도 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)해당 없음
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)해당 없음

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드, VC-C 내지 VC-G는 1–80 Hz에서 측정.

2. Detail size는 전자 소자 제조 폭 또는 의료 연구 등에서의 입자 크기를 의미한다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일06-27-2022
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Youngwoo DSP
Cheonan
DVIA-MO1000
211012R12-1