설치 보고서

DVIA-ML Series

04-22-2022

Amazon Web Services Elionix EBL DVIA-M3000 (210915R2) Installation Report — 2022.04.22

DVIA-ML Series

Installation Report

Amazon Web Services

AWS

Elionix

EBL

DVIA-M3000

210915R2

준비 대상

AWS

작성

N/A

개요

The DVIA-M3000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

시스템 정보

Model: DVIA-M3000

Serial Number: 210915R2

엔지니어

Hosang Yu from DAEIL SYSTEMS

튜닝 날짜

April 22, 2022

보고서 작성일

22.05.27

출장 기간

17.12.27~17.12.29

고객사 장비

Elionix EBL

진동 결과 요약

측정 지점	VC 곡선	Z축(수직) 1-10 Hz	Z축(수직) 10-80 Hz	X축(좌우) 1-10 Hz	X축(좌우) 10-80 Hz	Y축(전후) 1-10 Hz	Y축(전후) 10-80 Hz
Floor	VC curves	E	E	G	G	G	F
Active	VC curves	G	F	G	G	G	G

데이터 및 이미지

Z-axis (Vertical) VC curves (Floor)

Z-axis (Vertical) VC curves (Active)

Z-axis (Vertical) Transmissibility

X-axis (Left to Right) VC curves (Floor)

X-axis (Left to Right) VC curves (Active)

X-axis (Left to Right) Transmissibility

Y-axis (Front to Back) VC curves (Floor)

Y-axis (Front to Back) VC curves (Active)

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
작업장 (ISO)	명확하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	해당 없음
사무실 (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	해당 없음
주거 지역 (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
수술실 (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 포함 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일의 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	해당 없음
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	해당 없음

*참고:*

- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.

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카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-ML Series

작성일04-22-2022

태그

DVIA-ML Series

Installation Report

Amazon Web Services

AWS

Elionix

EBL

DVIA-M3000

210915R2

Amazon Web Services Elionix EBL DVIA-M3000 (210915R2) Installation Report — 2022.04.22

목차

준비 대상

작성

개요

시스템 정보

엔지니어

튜닝 날짜

보고서 작성일

출장 기간

고객사 장비

진동 결과 요약

데이터 및 이미지

Z-axis (Vertical) VC curves (Floor)

Z-axis (Vertical) VC curves (Active)

Z-axis (Vertical) Transmissibility

X-axis (Left to Right) VC curves (Floor)

X-axis (Left to Right) VC curves (Active)

X-axis (Left to Right) Transmissibility

Y-axis (Front to Back) VC curves (Floor)

Y-axis (Front to Back) VC curves (Active)

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

참고자료

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