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설치 보고서
DVIA-M Series
04-16-2021

LB Semicon TESCAN MIRA DVIA-MB1000 (MB1000 P220) Installation Report — 2021.04.16

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P220
TESCAN
MIRA
LB Semicon

목차

(MB1000_P220 테스칸-LB세미콤)

Target equipmentTESCAN-MIRA
Place of installationLB세미콤 2층 부설연구소
RemarkGood Performance
END USERLB세미콤
Operator: Choi, HyoungMunDate of business trip : 17.12.27~17.12.29
Date of setup : 21.04.16Date of reporting : 21.04.16

장비 설치 사진

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

Measurement date: 21.04.16 (FRI)

Operator: Daeil System, Research engineer Choi, HyoungMun

Place of measurement : LB세미콤 2층 부설연구소

Equipment Model: TESCAN-MIRA

측정 조건 및 결과

DAQ System : B&K PULSE 14 & LAN-XI Type 3056

Accelerometer : PCB PIEZOTRONICS 393B05

Frequency Range : 0.7 ~ 200Hz

Brüel & Kjær LAN-XI Type 3056

PCB Piezotronics 393B05 accelerometer

Brüel & Kjær PULSE LabShop

측정 결과 요약

Test ConditionVC-Class ZVC-Class XVC-Class Y
FloorACC
Above ActiveDEE

Good omnidirectional performance.

MB1000 internal program performance measurement result

Z축

X축

Y축

Vibration Criterion Curve

Z축 (수직) VC 곡선

X축 (좌우) VC 곡선

Y축 (전후) VC 곡선

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일04-16-2021
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P220
TESCAN
MIRA
LB Semicon

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