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설치 보고서
DVIA-ULF Series
02-22-2021

Nanfu Battery Hitachi SU1000 FlexSEM 1000II DVIA-UB350 (201021R4 P1) YIMO Remote-Tuning Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
Remote tuning
YIMO
Nanfu Battery
Hitachi
FlexSEM
DVIA-UB350
201021R4
P1

설치 대상 및 사용자

항목
Target equipmentHitachi SU1000 FlexSEM 1000II
Place of installationNanping city,4F
RemarkGood Performance
END USER南孚电池

담당자 및 일자

Operator: Munho Noh Date of setup : 21.02.22 Date of reporting : 21.02.22Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

Overview After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment. Measurement date: 21.02.22 (MON) Operator: Daeil System, Research engineer Munho Noh Place of measurement : Nanping city,4F Equipment Model: Hitachi SU1000 FlexSEM 1000II Measurement conditions and results Summary of measurement results Good omnidirectional performance.

전달률 (Test Condition)

2 Hz10 Hz
Z-10.2 dB-35.29 dB
X-7.37 dB-32.32 dB
Y-8.866 dB-32.56 dB

MB1000 internal program performance measurement result

N/A

Z axis

X axis

Y axis

참조

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
작업장 (ISO)명확하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)해당 없음
사무실 (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)해당 없음
주거 지역 (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
수술실 (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 포함 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일의 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.1.56 (62.5)해당 없음
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.0.78 (31.25)해당 없음

*참고:*

- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일02-22-2021
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
Remote tuning
YIMO
Nanfu Battery
Hitachi
FlexSEM
DVIA-UB350
201021R4
P1