Tier-1 Semiconductor Giheung Bruker AFM NM-VI6 DVIA-P4000 Installation Report (VOC26-132)
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보고서 정보
보고서: DVIA-P4000 Installation Report, S/N 200805R3 (VOC 26-132, POS 알람)
작성자: 정성윤 박규민 · DAEIL SYSTEMS
설치 날짜: 2026.07.21
보고서 작성일: 2026.08.03
개요
Tier-1 Semiconductor 기흥 V1라인 3층에 DVIA-P4000 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 200805R3
엔지니어
정성윤 박규민 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.07.21
설치 장소
SR1동 V라인 3F
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
제조사: Bruker
장비명: AFM
모델: NM-VI6
진동 스펙
| 축 | 주파수 [Hz] | 스펙 [µm/s RMS] |
|---|---|---|
| 수평 | 1 | 6.25 |
| 100 | 6.25 | |
| 수직 | 1 | 6.25 |
| 100 | 6.25 |
장비 상태
IDLE
진동 측정 장비
Measurement Equipment
- 하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
- 소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
Accelerometer
- PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
본 현장 점검 및 재튜닝은 Tier-1 Semiconductor 기흥 사업장 Mask개발팀에 설치된 Bruker 장비(NM-VI6) 하부 제진대의 반복적인 POS 알람 이슈를 해결하고 제어 성능을 최적화하기 위해 진행되었습니다. 현장 여건에 따른 일부 환경적 제약과 상부 장비의 실시간 구동 조건(IDLE 상태) 등 완벽하지 못한 측정 환경 속에서도, 조치 결과 상부 장비의 진동 스펙인 VC-D 기준을 만족시키며 기본적인 진동 제어 안정성을 완벽히 확보했습니다. 특히 이번 재튜닝은 상부 장비 로딩(Loading) 조건에서의 마진 부족 현상을 개선하는 데 초점을 맞추어 진행되었으며, 그 결과 향후 공정 가동 시 발생할 수 있는 진동 리스크를 선제적으로 해소하고 장비의 안정적인 구동 환경을 구축하였습니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-P4000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-P4000 | 진동 스펙 절 참조 | 수직(Z-axis) | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후(Y-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
측정 데이터
수직(Z-axis) VC Curves
좌우(X-axis) VC Curves
전후(Y-axis) VC Curves
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
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케이스 스터디 정보
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