설치 보고서
DVIA-M Series
10-21-2020
Tier-1 Semiconductor FEI TF20 TEM DVIA-MB3000 (200623R1) Installation Worksheet — 2020.10.21
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
FEI
TEM
TF20
DVIA-MB3000
200623R1
Contents
개요
액티브 마운팅 후 장비 사용에 문제가 없는지 확인하기 위해 진동 환경을 측정합니다.
측정 일자: 20.10.21 (WED)
작업자: Daeil System, Research engineer Choi, HyoungMun
측정 장소 :
장비 모델: TF20-FEI TEM
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB3000
시리얼 넘버: 200623R1
엔지니어
Choim, HyoungMun
설치 일자
20.10.21
보고서 작성일
20.10.22
출장 일정
17.12.27~17.12.29
최종 사용자
N/A
설치 장소
N/A
비고
N/A
대상 장비
TF20-FEI TEM
측정 조건 및 결과
측정 결과 요약
Transmissibility
| 2 Hz | 5 Hz | 10 Hz | |
|---|---|---|---|
| Z | -20 dB | -25 dB | -22 dB |
| X | -20 dB | -20 dB | -23 dB |
| Y | -26 dB | -25 dB | -25 dB |
Good omnidirectional performance.
MB1000 internal program performance measurement result
데이터 및 이미지
설치 사진
Z axis
X axis
Y axis
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일10-21-2020
태그
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