설치 보고서
DVIA-M Series
07-30-2019
South China University of Technology Hitachi Regulus 8100 DVIA-MB1000 — MB1000 P121 China trip — 2019.07.30
DVIA-M Series
Installation Report
South China University of Technology
Hitachi Regulus 8100
SEM
DVIA-MB1000
MB1000
P121
장비 사진
타겟 장비
Hitachi Regulus 8100
설치장소
South China University of Technology F1
특이사항
Good Performance
END USER
South China University of Technology
출장자 : 최성원 출장일 : 19.07.24
작성일 : 19.07.30
설치 결과 요약
| 조건 | 측정 방향 | Base | Top |
|---|---|---|---|
| ACTIVE | Z | D | F |
| X | D | E | |
| Y | D | G |
전 방향 성능 양호
진동레벨이 낮음에도 불구하고(기준치 만족) 이미지 상태가 좋지 않아 장비 점검 중
MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과
Z축
X축
Y축
진동환경 측정 결과
Z축
X축
Y축
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-30-2019
태그
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Installation Report
South China University of Technology
Hitachi Regulus 8100
SEM
DVIA-MB1000
MB1000
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