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설치 보고서
DVIA-M Series
04-10-2018

FEI Nova NanoSEM450 DVIA-MB1000 (MB1000 P61) Performance Report — 2018.04.10

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P61
FEI
Nova NanoSEM450
Pudan UNIV

목차

(Pudan Univ (MB1000_P61 Set up))

Target equipment

Target equipmentFEI Nova NanoSEM450
Place of installationPudan UNIV, Basement 1FLOOR
UniquenessGood Performance
END USERDONGJI UNIV
Date of business trip : 18.03.30
Business traveler: Choi, HyoungMun
Date Created : 18.04.10

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

측정 일자

Measurement date: 2018.03.30 (Friday), Rater: Daeil System, Manager Choi , Hyoung Moon

측정 장소

Place of measurement : Pudan UNIV, Basement 1FLOOR

Equipment Model

Equipment Model: FEI Nova NanoSEM450

측정 조건 및 결과

N/A

측정 결과 요약

Test ConditionVC-Class ZVC-Class XVC-Class Y
FloorEEE
Above ActiveEGF

Good omnidirectional performance and attached VC-Class graph.

MB1000 internal program performance measurement result

Z axis - internal program

X axis - internal program

Y axis - internal program

Octave Band Result (BASE: Floor, TOP: Above Active)

Z axis - octave band result

X axis - octave band result

Y axis - octave band result

Reference

Generic Vibration Criteria

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		Detail Size
μm
Workshop (ISO)사람이 분명히 진동을 느낄 수 있는 수준. 작업장 등 비민감 구역에 적합합니다.800 (32,000)N/A
Office (ISO)사람이 진동을 느낄 수 있는 수준. 사무실 등 비민감 구역에 적합합니다.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)사람이 거의 느끼지 못하는 수준. 대부분의 수면 공간에 적합합니다.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않습니다. 수술실, 100배 현미경 등에 적합합니다.100 (4,000)25
VC-A400배 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스 등에 적합합니다.50 (2,000)8
VC-B3μm 라인 폭의 검사·리소그래피 장비에 적합합니다.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학현미경, 1μm 라인 폭 리소그래피 장비에 적합합니다.12.5 (500)1 - 3
VC-DSEM/TEM 등 고난도 장비에 적합합니다.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용입니다.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용이며 설계 기준으로는 권장되지 않습니다.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용이며 설계 기준으로는 권장되지 않습니다.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~G는 1–80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서 측정된 값입니다.

2. Detail size는 반도체 제조의 폭 또는 의학 연구의 입자 크기를 가리킵니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일04-10-2018
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P61
FEI
Nova NanoSEM450
Pudan UNIV

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