설치 보고서
DVIA-M Series
03-08-2018
FATRI-UTC ZEISS Gemini DVIA-MB1000 (MB1000 P55) Installation report — 2018.03.08
DVIA-M Series
Installation Report
FATRI-UTC
DVIA-MB1000
MB1000
P55
ZEISS
Gemini
목차
FATRI-UTC (MB1000_P55 Set_Up)
타겟 장비
ZEISS-Gemimi
설치장소
FATRI-UTC 1층 분석실 (크린룸)
특이사항
제진대 성능 양호
END USER
FATRI-UTC
출장자
출장자 : 최형문
출장일
출장일 : 18.03.05~18.03.07
작성일
작성일 : 18.03.08
개요
제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
측정일
측정일: 2018.03.06 (화), 측정자: 대일시스템 최형문 과장
측정장소
측정장소 : FATRI-UTC 1층 분석실(크린룸)
장비 모델
장비 모델 : ZEISS-Gemimi
측정 조건 및 결과
측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 평상시 조건( SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함.
주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음.
측정결과 요약
| Test Condition | VC-Class (일반 조건) Z | VC-Class (일반 조건) X | VC-Class (일반 조건) Y |
|---|---|---|---|
| 건물 바닥 | F | F | F |
| 제진대 상판 | G | G | G |
전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함.
VC-Class 그래프
MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과
내부 프로그램: Z축
내부 프로그램: X축
내부 프로그램: Y축
Octave Band Result (BASE: 바닥, TOP: 제진대 상부)
옥타브 밴드: Z축
옥타브 밴드: X축
옥타브 밴드: Y축
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일03-08-2018
태그
DVIA-M Series
Installation Report
FATRI-UTC
DVIA-MB1000
MB1000
P55
ZEISS
Gemini
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