설치 보고서
DVIA-M Series
12-20-2017
Beijing Tsinghua University ZEISS Crossbeam 340 DVIA-MB1000 (MB1000 P10) internal program — 2017.12.20
DVIA-M Series
Installation Report
Tsinghua University
Beijing
ZEISS
Crossbeam 340
DVIA-MB1000
MB1000
P10
Internal program
목차
고객 및 설치 제목
중국 베이징 칭화대학교(MB1000_P10 Set up)
타겟 장비
ZEISS-Crossbeam 340
설치 장소
베이징 칭화대학교 연구실 7층
특이사항
제진대 성능 양호
END USER
칭화대학교 박사과정 학생
출장일
출장일 : 17.12.17~17.12.19
출장자
출장자 : 최형문
작성일
작성일 : 17.12.20
개요
제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
측정일
측정일: 2017.12.218 (월), 측정자: 대일시스템 최형문 과장
측정 장소
측정장소 : 칭화대학교 연구실 7층
장비 모델
장비 모델 : ZEISS-Crossbeam 340
측정 조건 및 결과
측정 결과 요약
Test Condition
VC-Class (일반 조건)
| Z | X | Y | |
|---|---|---|---|
| 건물 바닥 | C | F | E |
| 제진대 상판 | G | G | G |
전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함.
측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 평상시 조건( SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함.
주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음.
이미지 측정시 고객 성능 만족함.
VC-Class 50Hz 전기노이즈 배제하여 최종 Class 표기함
VC-Class curves
MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
Octave Band Result (BASE: 바닥, TOP: 제진대 상부)
Z axis (옥타브 밴드)
X axis (옥타브 밴드)
Y axis (옥타브 밴드)
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일12-20-2017
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tsinghua University
Beijing
ZEISS
Crossbeam 340
DVIA-MB1000
MB1000
P10
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