Olympus OLS4100 DVIA-T67 (170718R8) Tier-1 Semiconductor Cheongju Installation Report — November 2025
Contents
고객사
엘앤에스텍
작성자
엔지니어: 이채원
보고서 작성일
2025년 11월 11일
개요
티어원 반도체 청주 1캠퍼스 P&T6 4F 클린룸 K16에 설치된 DVIA-T67 점검 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-T67
시리얼 넘버: 170718R8
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 11월 03일
설치 장소
티어원 반도체 청주 1캠퍼스 P&T6 4F 클린룸 K16
End User
티어원 반도체
고객사 장비
Manufacturer: Olympus
Equipment: 3D Measuring Razer Microscope
Model: OLS4100
장비 스펙
-
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 2–10 Hz 구간에서는 약 90%의 제진 성능을 보이며, 10 Hz 이후 구간에서는 95% 이상의 제진 성능이 나타나고 있습니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-T67 |
|---|---|---|---|---|
| 티어원 반도체 청주 1캠퍼스P&T6 4F 클린룸 K16 1. 바닥진동 2. DVIA-T67 | Turned on/IDLE | Vertical | VC-A @ 40 Hz | VC-G @ 40 Hz |
| Left to Right | Residential Area @ 6.3 Hz | VC-D @ 6.3 Hz | ||
| Front to Back | Operating Theatre @ 6.3 Hz | VC-C @ 6.3 Hz |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
참고자료
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
