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설치 보고서
DVIA-T Series
03-03-2026

Youngil Precision Keyence VR-6000 DVIA-T67 DEMO Inspection Report

DVIA-T Series
Installation Report
Youngil Precision
KEYENCE
VR-6000
DVIA-T67
DEMO

고객사

영일프레시젼

작성자

엔지니어: 이채원

설치 날짜

2026년 02월 27일

보고서 작성일

2026년 03월 03일

개요

영일프레시젼 안산사업장 5F OQA실에 설치된 DVIA-T67 DEMO건 사용 시 장비에 간헐적인 문제가 생겨 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-T67

시리얼 넘버: N/A

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 날짜

2026년 02월 27일

설치 장소

영일프레시젼 안산사업장 5F OQA실

End User

영일프레시젼

고객사 장비

Manufacturer: Keyence

Equipment: 3D 형상측정기

Model: VR-6000

장비 스펙

N/A

장비상태

장비 설치 및 Turned on/IDLE

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

-Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

결론

Vertical: Residential Area → VC-F까지 진동이 감쇠 됩니다.

Left to Right: Operating Theatre → VC-E까지 진동이 감쇠 됩니다.

Front to Back: VC-A → VC-G까지 진동이 감쇠 됩니다.

모든 방향 전 대역대에서 매우 뛰어난 제진 성능을 보이고 있습니다.

다만, 간헐적으로 발생하는 장비 오류는 외부로부터 순간적으로 유입되는 강한 진동에 기인한 것으로 판단됩니다.

해당 장비는 5F에 설치되어 있으며, 구조적 특성상 비교적 바닥 진동이 높은 환경입니다. 실제 측정 결과 Vertical 및 Left to Right 방향에서는 ISO Operating Theatre 이상의 진동이 확인되었습니다.

제진대는 해당 ISO 등급의 바닥 진동을 VC-E - VC-F 수준까지 효과적으로 감쇠하고 있습니다. 그러나 사람이 체감할 수 있는 수준의 강한 진동(Workshop 급)이 순간적으로 유입될 경우, 감쇠 후 진동 수준은 VC-D 수준까지 저감될 것으로 추정됩니다.

현장 관계자에 따르면 외부 프레스 장비 가동 시 순간적으로 매우 큰 진동이 발생하는 시점이 때때로 존재하며, 해당 시점에 Workshop 수준의 바닥 진동이 유입되는 것으로 판단됩니다.

따라서 본 현상의 원인은 제진대 성능 문제가 아닌, 설치 환경 특성상 매우 높은 바닥 진동이 간헐적으로 발생하는 구조적 요인에 기인한 것으로 분석됩니다. 정상적인 조건에서는 제진 성능이 충분히 확보되고 있으나, 순간적인 강한 진동이 장비 구동 안정성에 영향을 줄 가능성이 있는 것으로 판단됩니다

측정 데이터

측정 장소상태방향바닥진동DVIA-T67
영일프레시젼 안산사업장 5F OQA실
1. 바닥진동
2. DVIA-T67
Turned on/IDLEVerticalResidential Area @ 12.5 HzVC-F @ 12.5 Hz
Left to RightOperating Theatre @ 12.5 HzVC-E @ 12.5 Hz
Front to BackVC-A @ 25 HzVC-G @ 25 Hz

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-T Series
작성일03-03-2026
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