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설치 보고서
DVIA-T Series
12-26-2024

QRT DVIA-T67 DEMO (241213R2) Inspection Report — MSTech MST8500 Probe Station

DVIA-T Series
Installation Report
QRT
Korea Institute of Nano Technology
MSTech
MST8500
DVIA-T67
DEMO
241213R2

고객사

QRT

작성자

엔지니어: 이채원, 서종화

측정 날짜

24.12.20

보고서 작성일

24.12.26

개요

한국나노기술원 3층 QRT 연구실 Demo 장비 DVIA-T67 납품, 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 안착 후 장비 Turned off 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.

튜닝 후 진동측정 시 주변에 사람이 걸어 다니고 있었습니다. 이는 측정 결과에 영향을 줄 수 있습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-T67

시리얼 넘버: 241213R2

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원, 서종화

튜닝 날짜

2024년 12월 20일

설치 장소

한국나노기술원 3층 QRT

장비 상태

장비 설치 및 Turned off

고객사 장비

Manufacturer: MSTech

Equipment: Probe Station

Model: MST8500

진동 측정 장비

8.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050 DAQ

Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040

Software: B&K Pulse Labshop 22 Version

8.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

Bandwidth: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Averaging: Spectrum Averaging

Window: Hanning

Overlap: Max

결론

DVIA-T67 & Table

Vertical: 16 Hz에서 VC-C의 진동이 VC-G까지 감쇠됩니다.

Left to Right: 16 Hz에서 VC-B의 진동이 VC-F까지 감쇠됩니다.

Front to Back: 1 Hz에서 VC-B의 진동이 VC-D까지 감쇠됩니다.

측정 데이터

측정 장소상태방향TableDVIA-T67
한국나노기술원 3층 QRT 연구소
1. Table
2. DVIA-T67
장비설치/IDLEVerticalVC-B @ 1 HzVC-D @ 1 Hz
Left to RightVC-B @ 16 HzVC-F @ 16 Hz
Front to BackVC-B @ 1 HzVC-D @ 1 Hz

데이터&이미지

1) DVIA-T67 & Table

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

장비 사진

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-T Series
작성일12-26-2024
태그
DVIA-T Series
Installation Report
QRT
Korea Institute of Nano Technology
MSTech
MST8500
DVIA-T67
DEMO
241213R2