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설치 보고서
DVIA-T Series
03-14-2025

QRT DVIA-T67 (250204R2) Installation Report — MSTech MST8500 Probe Station

DVIA-T Series
Installation Report
QRT
Korea Institute of Nano Technology
MSTech
MST8500
DVIA-T67
250204R2

작성자

엔지니어: 서종화

측정 날짜

25.03.14

보고서 작성일

25.03.14

개요

한국나노기술원 3층 QRT 연구실에 납품된 DVIA-T67 현장 Probing 특성에 맞게 튜닝 요청을 받아 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 안착 후 장비 Turned on 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-T67

시리얼 넘버: 250204R2

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 서종화

튜닝 날짜

2025년 03월 14일

설치 장소

한국나노기술원 3층 QRT

End User

QRT

장비 상태

장비 설치 및 Operation

고객사 장비

Manufacturer: MSTech

Equipment: Probe Station

Model: MST8500

진동 스펙

고객사 미보유

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

-Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Average Mode: Exponential, 40

결론

Vertical: 10 Hz에서 VC-C의 진동이 VC-D까지 감쇠합니다.

Left to Right: 16 Hz에서 VC-B의 진동이 VC-F까지 감쇠합니다.

Front to Back: 16 Hz에서 VC-B의 진동이 VC-F까지 감쇠합니다.

고객사의 요청에 따라 특정 Probing 환경에 맞추어 제진 성능이 일부 저하되더라도 해당 조건에 최적화된 튜닝을 완료하였습니다.

측정 데이터

측정 장소상태방향FloorDVIA-T67
한국나노기술원 3층 QRT 연구소
1. Floor
2. DVIA-T67
장비설치/OperationVerticalVC-C@ 10 HzVC-D@ 10 Hz
Left to RightVC-B@ 16 HzVC-F@ 16 Hz
Front to BackVC-C@ 16 HzVC-F@16 Hz

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

장비 사진

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-T Series
작성일03-14-2025
태그
DVIA-T Series
Installation Report
QRT
Korea Institute of Nano Technology
MSTech
MST8500
DVIA-T67
250204R2