Tongji University (Shanghai) ZEISS SIGMA 300VP DVIA-MB1000 (MB1000 P28) China business trip worksheet — 2016.11.21

타겟 장비명 – SIGMA 300VP ( ZEISS SEM )

출장일: 16.11.16 ~ 16.11.18

출장자: 임종욱

작성일: 2016.11.21

※ 출장 일정

16.11.16

-출국, 상해 동지대학교 방문

-설치 장소 확인 및 준비

16.11.17

-MB1000_P28 셋업 진행 (상해 동지 대학교)

-장비 이미지 확인

-진동 환경 측정 및 고객 대응

16.11.18

-귀국

전 방향 성능 양호.

바닥 진동환경은 수직축 전 방향 E Class로 측정되었음.

액티브 시 제진대 상판 진동환경은 전 방향 G Class로 성능이 양호함.

전체적으로 4Hz 이상의 주파수에서는 바닥 진동상태가 양호하였으나, 저주파가 강하게 발생하고 있는 것으로 측정됨. Active 적용 후 저주파 진동이 상당히 감소되었음을 확인함.

장비의 이미지를 확인하고, 고객이 만족하였음.