설치 보고서

07-05-2024

FEI FE-SEM NOVA NANOSEM 450 DVIA-M1000(160808R2-2) 설치 보고서 — 2024-07-05

DVIA-M Series

Installation Report

FEI

NOVA NanoSEM 450

DVIA-M1000

160808R2-2

(MB1000_160808R2-2 Set-up)

대상 장비

FEI FE-SEM NOVA NANOSEM 450

설치 장소

비고

Good Performance

엔드 유저

Operator

Operator: Byeonghun Cho

Date of setup

24.03.25

Date of reporting

24.07.05

Date of business trip

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

측정일

Measurement date: 2024.03.25 (Monday)

Operator: Byeonghun Cho from DAEIL SYSTEMS

측정 장소

Equipment Model

FEI FE-SEM NOVA NANOSEM 450

M1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Vertical

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Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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