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설치 보고서
DVIA-T Series
05-27-2016

DVIA-T56 (T56_150kg) Measurement Report

DVIA-T Series
Installation Report
DVIA-T56
Measurement Report

설치 및 측정 일자

2016.05.23.

보고 일자

2016.05.27.

조직

DAEIL SYSTEMS

LIM JONG UK

※ 설치 결과 요약

시험 방향BaseTop
ZCE
XCD
YBE

모든 방향에서 양호한 성능을 확인하였습니다.

수직 Z축은 C Class, 수평 X축은 C Class, 수평 Y축은 B Class입니다. 바닥 진동 환경에서 측정되었습니다.

수직 Z축은 E Class, 수평 X축은 D Class, 수평 Y축은 E Class입니다. ACTIVE 상태 제진대 상단 진동 환경에서 측정되었습니다.

내장 프로그램 데이터로 성능 그래프를 작성하였으며, "Result 1"을 참고하십시오.

1/3 옥타브 밴드 단위 변환 데이터로 "Result 2"를 참고하십시오.

Result 1 (Performance graph – Transmissibility)

ACTIVE (dB)

Z축

X축

Y축

ACTIVE (multiple)

Z축

X축

Y축

PASSIVE (dB)

Z축

X축

Y축

PASSIVE (multiple)

Z축

X축

Y축

Result 2 (Performance graph used data of PULSE – 1/3 Octave band)

ACTIVE

Z축

X축

Y축

PASSIVE

Z축

X축

Y축

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~VC-G는 1–80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-T Series
작성일05-27-2016
태그
DVIA-T Series
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DVIA-T56
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