설치 보고서
DVIA-M Series
09-11-2015
KRICT Building 10 L3 EMI room DVIA-MB3000 vibration environment measurement (September 2015)
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB3000
KRICT
Korea Research Institute of Chemical Technology
Vibration measurement
Building 10
Electron microscopy laboratory
September 2015
Contents
개요
제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
측정일 및 측정장소
측정일: 2015. 9. 10(목), 측정자: 대일시스템 최성원 대리
측정장소: 한국화학연구원 연구10동 3층 전자현미경실
측정 조건 및 결과
측정 조건: 측정 위치는 아래 그림에 화살표로 표시한 것과 같음. MB3000의 상판과 실험실 바닥을 각각 측정하였음. 측정결과는 VC-CLASS로 표시함.
바닥(BASE)·제진대 상판(TOP)
측정결과 요약
| 측정 위치 | Z | X | Y |
|---|---|---|---|
| 바닥 | C | E | E |
| 제진대 상부 | F | F | F |
수평축은 전반적으로 바닥진동 레벨이 낮음. 수직축의 경우 10Hz 이하 주파수 대역의 바닥 진동레벨은 양호하고, 10Hz 이상의 바닥 진동레벨은 다소 높음.
제진대 적용 결과 제진대 상판의 모든 방향 진동레벨이 F 클래스로 장비의 허용 진동레벨인 E 클래스 이상을 만족함.
진동환경 VC-CLASS 그래프
수직축(Z) 진동레벨
수평축(X) 진동레벨
수평축(Y) 진동레벨
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일09-11-2015
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB3000
KRICT
Korea Research Institute of Chemical Technology
Vibration measurement
Building 10
Electron microscopy laboratory
September 2015
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