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설치 보고서
DVIA-M Series
01-22-2015

Zeiss SUPRA 55 DVIA-M1000 P2 Vibration Environment Results — Bruker Relocation Installation (2015)

DVIA-M Series
Installation Report
Zeiss SUPRA
Bruker
M-1000 P2

목차

진동환경측정결과 (브루커 이전설치)

1. 개요

M-1000 P2 제진대 적용 후 진동환경이 사용자의 요구 조건을 충족하는지 파악하기 위함.

2. 측정일시

측정일시: 2015. 1. 22(수) 17:30, 측정자: 최성원

3. 측정장소

측정장소: 무역정보통신센터 4층

4. 측정 조건 및 결과

칼자이스 SUPRA 55 탑재, 탑재장비는 내장 패시브 및 기기 기능이 동작 중.

후면에 위치한 펌프가 동작하지 않는 상태에서 측정. 동작 중에는 진동레벨 상승 가능성 있음.

측정 현장 사진

결과 요약

Test DirectionVC-ClassBaseTop
ACTIVEZDG
XEG
YEG

제진대 자체성능 양호.

바닥 진동환경은 수평축 E Class, 수직축 D Class로 양호한 수준. 다만 수평축 1~5Hz 저주파수 대역은 다른 설치장소에 비하여 높은 편으로, 제진대를 사용하지 않을 시 X축 2Hz에서 spec out 됨.

액티브 시 제진대 상판 진동환경 G Class 이상으로 양호.

액티브 시 SUPRA 55 VP의 진동 스펙인 <7.2㎛/sec RMS for f>25Hz / <14㎛/sec RMS for f<25Hz 을 만족함.

VAAV 프로그램 측정 결과

FFF Z

FFF X

FFF Y

OCTAVE BAND

Active Z

Active X

Active Y

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-22-2015
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Zeiss SUPRA
Bruker
M-1000 P2

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