설치 보고서
DVIA-M Series
06-18-2014
Bruker BioScience — M-1000 P2 setup results (vibration survey) — 2014-06-18
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-M1000
M-1000 P2
Bruker
Carl Zeiss
Vibration environment
Daeil Systems
2014
Contents
진동환경측정결과(브루커 바이오 사이언스)
개요
M-1000 P2 제진대 적용 후 진동환경이 사용자의 요구 조건을 충족하는지 파악하기 위함.
측정일시: 2014. 6. 18(목) 16:00, 측정자: 최성원
측정장소: 킨스타워 15층 브루커 바이오 사이언스 데모룸
4. 측정 조건 및 결과
칼자이스 탑재장비 가동 중에 튜닝 및 진동측정 하였음.
측정 위치는 제진대 상판 측면과(top) 제진대 부근 바닥(base)으로 하였음.
측정 현장 사진
결과 요약
| 상태 | 시험 방향 | VC-Class(Base) | VC-Class(Top) | Transmissibility [dB@10Hz] |
|---|---|---|---|---|
| ACTIVE | Z | A | E | -26.3 |
| X | E | E | -25.7 | |
| Y | E | E | -29.2 |
제진대 자체성능은 X축이 약간 부족하나 전반적으로 양호
액티브 시 제진대 상판 진동환경 E Class로 양호
SEM 자체 내장 패시브나 기타 요인으로 인하여 오픈루프 특성이 매끄럽지 않고, 특히 P, R 회전축의 경우가 심하여 게인을 안정적으로 설정하였음
본사에서 실험했을 때 X, Y축에서 발견되었던 40~90Hz 피크는 현장 셋업 시 발견되지 않았음(본사 측정 시 골판지를 더미 바닥에 깐 것이 문제였던 것으로 결론)
VAAV 프로그램 측정 결과
Passive Z
Passive X
Passive Y
FFF Z
FFF X
FFF Y
전달률 그래프
Z축 및 X축 — 패시브 대비 액티브
Y축 — 패시브 대비 액티브
OCTAVE BAND
Active Z 및 Active X — 1/3 옥타브 밴드
Active Y — 1/3 옥타브 밴드
참고
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 디테일 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 감지 가능한 진동 | 800 (32000) | — |
| VC-A | 민감 장비에 적합 | 50 (2000) | 75 |
| VC-B | 광학 현미경 ≤100×에 적합 | 25 (1000) | 25 |
| VC-C | 광학 현미경 ≤400×에 적합 | 12.5 (500) | 12 |
| VC-D | 광학 현미경 ≤1300×에 적합 | 6.25 (250) | 6 |
| VC-E | TEM·SEM 전자현미경에 적합 | 3.12 (125) | 3 |
| VC-F | 장초점 레이저 계측에 적합 | 1.56 (62.5) | 1 |
| VC-G | 세부 영상·계측에 적합 | 0.78 (31.3) | 0.3 |
참고:
1. 본 기준은 주파수 대역 8–80 Hz에서 1/3 옥타브 대역으로 측정한 RMS 진동 속도에 해당합니다(ISO 2631-3).
2. 디테일 크기는 검사 대상인 미세 패턴 등에서 선폭 또는 간격을 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일06-18-2014
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-M1000
M-1000 P2
Bruker
Carl Zeiss
Vibration environment
Daeil Systems
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