설치 보고서

DVIA-M Series

11-15-2024

Korea Electronics and Machinery Convergence Technology Institute DVIA-MB3000 (141104R5) Installation Report — 2024.11.15

DVIA-M Series

Installation Report

Korea Electronics and Machinery Convergence Technology Institute

DVIA-MB3000

141104R5

개요

한구화학연구원에서 한국전자기계융합기술원으로 이전 설치된 DVIA-MB3000 제품 점검 및 튜닝 진행하였습니다.

튜닝 전 장비에 이상이 없는지 점검하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-MB3000

시리얼 넘버: 141104R5

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원, 국내영업 김동환

측정 날짜

2024년 10월 31일

보고서 작성일

24.11.15

설치 장소

한국전자기계융합기술원 104호

장비 상태

장비 미설치

고객사 장비

Manufacturer: Self made

Equipment: -

Model: -

진동 측정 장비

8.1) Data Physics DAQ

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

8.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

Bandwidth: 200 Hz

Lines: 3200

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

장비 진동 스펙

미정

결론

모든 방향에서 VC-G의 진동이 측정됩니다.

측정 데이터

측정 장소	상태	방향	Floor	DVIA-MB3000
한국전자기계웅합기술원 104호 1. Floor 2. DVIA-MB3000	장비 미설치	Vertical	VC-E @ 25 Hz	VC-G @ 25 Hz
		Left to Right	VC-F @ 40 Hz	VC-G @ 40 Hz
		Front to Back	VC-G @ 10 Hz	VC-G @ 10 Hz

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

13. 참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	상세 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일11-15-2024

태그

DVIA-M Series

Installation Report

Korea Electronics and Machinery Convergence Technology Institute

DVIA-MB3000

141104R5

Korea Electronics and Machinery Convergence Technology Institute DVIA-MB3000 (141104R5) Installation Report — 2024.11.15

Contents

개요

제진대

엔지니어

측정 날짜

보고서 작성일

설치 장소

장비 상태

고객사 장비

진동 측정 장비

진동 측정 Setup

장비 진동 스펙

결론

측정 데이터

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

13. 참고자료

일반 진동 기준

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