Korea University M1000 P7 vibration survey — 2014-07-25

M-1000 P7 제진대 적용 후 진동환경이 사용자의 요구 조건을 충족하는지 파악하기 위함.

측정일시: 2014. 7. 25(금) 17:30, 측정자: 최성원

측정장소: 고려대학교 공과대학 산학관 2층

FEI SEM 탑재, 일부 기능 가동 중에 튜닝 및 진동측정 하였음.

측정 위치는 제진대 상판 전면 중앙, 제진대 전면 바닥(base)으로 하였음.

제진대 자체성능 양호

액티브 시 제진대 상판 진동환경 E Class 이상으로 양호

FEI측 의견으로, 셋업 당시 진동환경이 평상시보다 매우 양호한 편이기 때문에 합격여부를 판단할 수 없다고 하였음. 풋워크에 의한 저주파수 요동이 문제점이기 때문에 학생들의 이동이 많은 낮 시간대에 측정하여 다음 주 월요일(14.7.28)에 통지하기로 함. 이러한 의견에 따라, Z축의 경우 현장 환경을 그대로 측정하지 않고 가진하며 측정하였음.

확인 결과 상태 양호 판정

튜닝 시 전반적으로 저주파수 위상여유는 많고 고주파수 위상여유는 적었음. 탑재장비의 무게가 낮거나, 패시브 특성에 변화가 있을 수 있음. 이러한 이유로 Z축은 최소한의 안정도로 튜닝하여 작업 완료함.

패시브 상태에서 Z축 45Hz에 이상 피크가 나타남. 이것이 오픈루프에서도 발견되어 튜닝에 어려움을 겪었음. FEI 엔지니어가 SEM 장비 케이블을 느슨하게 조절한 뒤 오픈루프에서는 이상 피크가 더 이상 발견되지 않아 성능구현이 가능하였으나, 최종 성능 측정 결과 해당 주파수 부근에서 성능이 좋지 않음.

수평축 고주파수 성능이 떨어지는 것은 고주파 가진이 되지 않고 있기 때문인 것으로 여겨짐