본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-M Series
06-18-2014

Bruker BioScience DVIA-M1000 P2 vibration survey — Carl Zeiss SUPRA 55 VP demo room (2014-06-18)

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-M1000
M1000
P2
Bruker
Carl Zeiss
SUPRA 55 VP

진동환경측정결과 (브루커 바이오 사이언스)

개요

M-1000 P2 제진대 적용 후 진동환경이 사용자의 요구 조건을 충족하는지 파악하기 위함.

측정 일시 및 측정자

측정일시: 2014. 6. 18(목) 16:00, 측정자: 최성원

측정장소

킨스타워 15층 브루커 바이오 사이언스 데모룸

4. 측정 조건 및 결과

칼자이스 탑재장비 가동 중에 튜닝 및 진동측정 하였음.

측정 위치는 제진대 상판 측면과(top) 제진대 부근 바닥(base)으로 하였음.

측정 위치 안내 도면 A

측정 위치 안내 도면 B

결과 요약

검사 방향VC-Class(Base)VC-Class(Top)ACTIVETransmissibility [dB @ 10Hz]
ZAEE-26.3
XEEE-25.7
YEEE-29.2

SUPRA 55 VP 허용 진동 관련 결과

액티브 시 SUPRA 55 VP의 진동 허용기준인

<7.2㎛/sec RMS for f>25Hz / <14㎛/sec RMS for f<25Hz 을 만족함

VAAV 프로그램 캡처

FFF Z

FFF X

FFF Y

옥티브 대역 · 활성 (Z축)

옥티브 대역 · 활성 (X축)

옥티브 대역 · 활성 (Y축)

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일06-18-2014
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-M1000
M1000
P2
Bruker
Carl Zeiss
SUPRA 55 VP