설치 보고서
DVIA-P Series
04-14-2023
Tier-1 Semiconductor Advanced Institute Suwon NIKON stepper DVIA-P7000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor Advanced Institute
NIKON
stepper
DVIA-P7000
140416R6
Contents
개요
DVIA-P7000 능동 제진 플랫폼이 적절히 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.
시스템 정보
Model: DVIA-P7000
Serial Number: 140416R6
엔지니어
Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 날짜
April 14, 2023
설치 장소
삼성종합기술원, 수원
장비
NIKON, stepper
작성자
Engineer: Youngha Lee
Tuning date: 23.04.14
Report written date: 23.04.24
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
진동 결과 요약
| 측정 지점 | VC curves | Z-axis (Vertical) 1-10 Hz | Z-axis (Vertical) 12.5-80 Hz | X-axis (Left to Right) 1-10 Hz | X-axis (Left to Right) 12.5-80 Hz | Y-axis (Front to Back) 1-10 Hz | Y-axis (Front to Back) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | E | A+ | F | A | A+ | C | |
| Active | D | C | D | E | C | C |
데이터 및 이미지
Z-axis (Vertical) Transmissibility
Z-axis (Vertical) VC curves
Floor
Active
X-axis (Left to Right) Transmissibility
X-axis (Left to Right) VC curves
Floor
Active
Y-axis (Front to Back) Transmissibility
Y-axis (Front to Back) VC curves
Floor
Active
장비 요구 진동 사양
1~45Hz : VC-A
45~65Hz : VC-B
65~130Hz : VC-C
130Hz~200Hz : VC-D
참고자료
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일04-14-2023
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor Advanced Institute
NIKON
stepper
DVIA-P7000
140416R6
