도입사례

YIMO TECH Hitachi High-Tech SU7000 SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 푸저우(Fuzhou) 푸젠이공대학(Fujian University of Technology)에 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 설치한 뒤, 장비를 IDLE 상태로 두고 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다. SU7000의 수평·수직 허용 진동 사양(1~10 Hz, µm pk-pk) 기준으로 바닥과 DVIA-ML1000 플랫폼 모두 수직·좌우·전후 세 축에서 PASS 판정을 받았습니다. 튜닝 요청서(调试请求书), 허용 진동 사양 표, 축별 Autospectrum 측정 그래프, 설치 현장 사진을 함께 게시합니다.

한국전자통신연구원 2동 L02호에 설치된 Attocube AttoDRY 2100 저온챔버용 DVIA-ULFB700 제진대(S/N 260707R4) 설치 보고서입니다. 장비를 IDLE 상태로 두고 수평·수직 모두 3.125 µm/s RMS(VC-E) 기준으로 튜닝과 진동 측정을 진행하였습니다. 바닥에서는 3축 모두 기준을 초과했으나 제진대 상부(DVIA-ULFB700)에서는 3축 모두 기준을 만족하였으며, 1차 튜닝 결과 수직축은 VC-F, 수평축은 VC-E 수준을 확보하였습니다. 수직(Z축)·좌우(X축)·전후(Y축) VC Curves를 게시합니다.

미국 텍사스 소재 Tier-1 Semiconductor 사업장 FAB 3층의 Advantest E5620 하부에 설치된 DVIA-P4000(시리얼 260401R3-1) 설치 보고서입니다. 작업 완료일은 2026년 8월 14일입니다. 리깅 및 위치 조정, 리프팅, 액세스 플로어와 동일 높이로의 설치, 0.5mm 이내 수평 조정, 바닥과 제진대 간 내진 고정 장치 체결까지 진행한 뒤 진동 성능을 검증했습니다. 장비 제조사가 규정한 진동 스펙은 전 방향 VC-C(1~80Hz 구간 12.5 µm/s 미만)입니다. 교정된 지진계형 가속도 센서로 160Hz 대역에서 3개 방향을 측정했으며, DVIA-P4000은 전후·좌우·수직 3축 모두 VC-C 기준을 만족(PASS)했습니다. 허용 진동 사양과 3축 VC Curves를 게시합니다.

에프에스티(FST) 오산 사업장 3층 클린룸에 설치된 DVIF-FB-1000x2000x3000H 제진대(S/N 241001R5)의 상판 보강 작업 후 성능을 확인하기 위한 진동 측정 보고서입니다. 상부에는 LAZIN LODAS-B18 포토마스크 블랭크 검사장치가 탑재되어 있으며, 장비를 IDLE 상태로 두고 수평·수직 모두 25 µm/s RMS(VC-B) 기준으로 측정하였습니다. 보강 전에는 3축이 모두 기준을 초과했으나, 보강 후 수직(Z)은 27.7 → 17.9 µm/s, 좌우(X)는 70.7 → 22.4 µm/s로 VC-B를 충족하였고, 전후(Y)는 71.0 → 48.0 µm/s로 32.4% 저감되었지만 VC-A 수준에 머물렀습니다. DVIF-FB 상판의 축별 보강 전·후 VC Curves와 상부 장비 Stage에서 측정한 축별 VC Curves를 함께 게시합니다.

중국 우시(Wuxi) Broadcast and Television Metrology 현장에 YIMO TECH를 통해 공급된 Thermo Fisher Scientific Talos FIB-SEM의 DVIA-ML1000 설치 보고서입니다. 2026년 6월 5일 1차 튜닝을 진행했고, 장비를 turned on/IDLE 상태로 둔 채 측정했습니다. 수직 방향에서 바닥은 15.5Hz에서 4.62µm/s RMS였지만 DVIA-ML1000 위에서는 0.11µm/s에 머물렀고, 좌우는 4.5Hz에서 0.71 → 0.14µm/s, 전후는 3.5Hz에서 0.58 → 0.034µm/s로 세 축 모두 바닥과 플랫폼 양쪽에서 PASS했습니다. Thermo Fisher Scientific은 SE-Tools 사이트 서베이 결과로 현장별 진동 요구 조건을 제시하므로 적용 사양은 해당 서베이 리포트를 따릅니다. 튜닝 요청서(작업지시서)와 축별 VC Curves·Autospectrum·Transmissibility 측정 그래프를 함께 게시합니다.

새론테크놀로지 의왕 사업장 506호 연구실에서 자사 SEM인 SEMIRON 5000을 받치고 있는 DVIA-MB1000(S/N 161117R3) 제진대를 점검하고 진동을 측정한 보고서입니다. 장비를 IDLE 상태로 둔 채 측정한 결과 바닥은 3축 모두 VC-D 수준이었지만, 제진대 위에서는 수직(Z축)·좌우(X축)·전후(Y축)가 모두 VC-G까지 떨어져 별도의 재튜닝 없이 그대로 운용할 수 있는 상태로 확인됐습니다. 축별 Autospectrum·VC Curves와 장비 사진을 함께 게시합니다.