설치 보고서

DVIA-ULF Series

11-23-2020

Tier-1 Semiconductor Sensofar S neox DVIA-UD350 (P24) Installation Report

DVIA-U Series

Installation Report

Tier-1 Semiconductor

Sensofar

S neox

DVIA-UD350

P24

202011

Tier-1 Semiconductor(UD350_P24 Set_Up)

현장 확인 항목

Target equipment	Sensofar S neox
Place of installation	MLCC 측정실 3층
Remark	Good Performance
END USER	Tier-1 Semiconductor

담당자 및 일정

Operator: Choi, Hyoung Mun Date of setup : 20.11.20 Date of reporting : 20.11.23	Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment. Measurement date: 2020.11.20 (FRI), Operator: Daeil System, Manager Choi, Hyoung Mun Place of measurement : MLCC 측정실 3층 Equipment Model: Sensofar S neox Measurement conditions and results - DAQ System : B&K PULSE 14 & LAN-XI Type 3056 - Accelerometer : PCB PIEZOTRONICS 393B05 - Frequency Range : 0.7 ~ 200Hz Summary of measurement results Test Condition VC-Class Z X Y Floor A E C Above Active F G F Good omnidirectional performance.

측정 요약 (VC-Class)

Test Condition	VC-Class
	Z
Floor	A
Above Active	F

UD350 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축 (내부 프로그램)

X축 (내부 프로그램)

Y축 (내부 프로그램)

Octave Band Result (Floor, Above Active, Stage, Head)

Z축 (옥타브 밴드)

X축 (옥타브 밴드)

Y축 (옥타브 밴드)

Octave Band Result (Floor, Z-Center, Z1, Z2, Z3, Z4)

Z축 (옥타브 밴드, Z-Center)

참조

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	Detail Size μm
Workshop (ISO)	사람이 뚜렷이 느낄 수 있는 진동. 작업장·비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	사람이 느낄 수 있는 진동. 사무실·비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 느껴지지 않음. 수술실·100배까지 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배까지 광학현미경·정밀저울 등에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭까지 검사·리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학현미경·1μm 리소그래피 등에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	SEM/TEM 등 고사양 전자현미경에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노 E-Beam 리소그래피 등 최고 민감 설비.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극저노이즈 연구공간. 설계 기준으로는 비권장.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극저노이즈 연구공간. 설계 기준으로는 비권장.	0.78 (31.25)	N/A

*참고:*

- VC-A/B는 통상 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드, VC-C–G는 1–80 Hz 1/3 옥타브 밴드에서 측정된 진폭으로 해석한다.

- Detail size는 반도체에서는 패턴 선폭, 의료·입자 분야에서는 입자 크기 등을 가리킨다.

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