PARK SYSTEM XE-100-01 AFM

라인 프로파일 분석 결과, 공압 제진 테이블의 노이즈가 액티브 진동 제어 테이블보다 10배 크며, 공압 제진 테이블과 액티브 진동 제어 테이블 간의 제진 성능 차이로 인해 XE-100-02의 과도한 노이즈가 발생하는 것으로 확인되었습니다.

AFM XE-100-01을 통해 대일시스템의 탁상용 액티브 진동 제어 플랫폼으로 XE-100-02의 미세 시편 측정이 가능함을 확인했습니다.