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설치 보고서
DVIA-M Series
03-24-2021

Oi Solution Co., Ltd. JEOL JSM-7610F PLUS DVIA-MB1000 (MB1000_P222) Installation Report — March 2021

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
Oi Solution Co., Ltd.
JEOL
JSM-7610F PLUS
Korea Photonics Technology Institute

대상 장비

JEOL JSM-7610F PLUS

설치 장소

한국 광 기술원 1층

비고

Good Performance

엔드 유저

오이솔루션

담당자 및 일정

Operator: Choi, HyoungMun

Date of setup : 21.03.23Date of reporting : 21.03.24

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

제진 시스템

모델: DVIA-MB1000

보고서 표기 번호: MB1000_P222

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

Measurement date: 21.03.23 (TUE)

Operator: Daeil System, Research engineer Choi, HyoungMun

Place of measurement : 한국 광 기술원 1층

Equipment Model: JEOL JSM-7610F PLUS

측정 조건 및 결과

DAQ System : B&K PULSE 14 & LAN-XI Type 3056

Accelerometer : PCB PIEZOTRONICS 393B05

Frequency Range : 0.7 ~ 200Hz

측정 조건 및 결과 — 스크린 캡처

스크린 캡처 01

스크린 캡처 02

스크린 캡처 03

스크린 캡처 04

스크린 캡처 05

측정 결과 요약

측정 지점ZXY
FloorCBA
Above ActiveGGG

Good omnidirectional performance.

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축

X축

Y축

진동 기준 곡선

Z축

X축

Y축

참조

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일03-24-2021
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
Oi Solution Co., Ltd.
JEOL
JSM-7610F PLUS
Korea Photonics Technology Institute