JEOL Tabletop SEM
개요
설치가 성공적으로 완료되었으며, T-56의 시스템 성능은 최적 상태입니다.
서비스 보고서 번호
NSR-0063-DAE-JEOL-20210202
서비스 일자
2021년 2월 2일
고객 정보
고객사: JEOL Asia Pte Ltd
End-user 담당자: Mr. Patrick Lim
주소: 2 Corporation Rd, #01-12 Lobby A of Corporation Place, Singapore 618494
시스템 정보
시스템/모델: DAEIL DVIA-T56 액티브 제진 플랫폼(벤치탑)
시스템 시리얼 넘버: 210112R11
서비스 유형: JEOL JCM-7000 테이블탑 SEM용 설치
시스템 상태: Demo
작업 요약
1. 플랫폼 개봉 후 액티브 제진 플랫폼의 모든 부품을 점검하였습니다. 누락된 부품/구성품 없이 납품이 완료되었습니다.
2. JEOL JCM-7000 테이블탑 SEM 하부에 DVIA-T56을 배치하였습니다.
3. DVIA-T56의 전원을 켜고 자동 하중 조정을 수행하였습니다.
4. DVIA-T56의 제진 기능을 켰습니다.
5. 최적 성능을 위해 DAEIL 엔지니어가 원격 튜닝을 수행하였습니다.
6. 플랫폼의 테이블과 베이스 플레이트에서 진동 측정을 수행하였습니다.
7. X, Y, Z 방향 진동 그래프는 부록 A를 참조하시기 바랍니다.
8. 시스템 이미지는 부록 B를 참조하시기 바랍니다.
9. 50kX 및 100kX 배율의 Gold on Carbon 이미지는 부록 C를 참조하시기 바랍니다.
부록 A: X, Y, Z 방향 진동 측정
부록 B: 시스템 이미지
부록 C: Gold on Carbon 이미지 (50kX)
1280 x 1024 (10s) - Bare system vs Daeil
1280 x 1024 (20s) - Bare system vs Daeil
2560 x 2048 - Bare system vs Daeil
부록 C: Gold on Carbon 이미지 (100kX)
1280 x 1024 (10s) - Bare system vs Daeil
1280 x 1024 (20s) - Bare system vs Daeil
2560 x 2048 - Bare system vs Daeil
