AFM SILICON CANTILEVER IMAGING

- 에어테이블(싱킹/플로팅 모드), 번지코드, 액티브 진동 제어기의 PD A-B 전압 측정.

- 50kS/s(40ns) 샘플링 속도 - FFT 25kHz까지 측정

- 1kHz 이상에서 모든 기판이 유사한 노이즈.

- 1kHz 이하에서 에어테이블(싱킹 모드)이 가장 불량.

- 에어테이블(플로팅 모드)과 DVIA-T45가 가장 우수.

- 신호 노이즈에 대한 STD 측정

- 싱킹 (0.02763V), 플로팅 (0.00936V), 번지코드 (0.00856V), 능동 (0.00579V).

- DVIA-T45가 최상의 성능