설치 보고서
DVIA-P Series
05-26-2026
KRISS FE SEM UB700 P1 Setup Report (2016-06-20)
DVIA-P Series
Installation Report
KRISS
Korea Research Institute of Standards and Science
FE SEM
UB700
P1
VC-Class
목차
타겟 장비
FE SEM 자체 개발 모델
출장 및 작성 일정
출장일: 16.06.20
출장자: 최형문, 김두현, 임종욱
작성일: 2016.06.20
설치 결과 요약
| Test Direction | VC-Class | ||
|---|---|---|---|
| Base | Top | ||
| ACTIVE | Z | C | E |
| X | E | G | |
| Y | E | G |
수직 방향은 성능이 양호하지만, 수평방향은 성능이 다소 부족함. 바닥 진동이 매우 적어서 성능이 부족하게 측정된 것으로 보임.
장비의 고전압 전원의 설비 부족으로 인해 이미지는 확인하지 못함.
성능 부족과 관련하여 연구소에서는 발생하지 않았던 문제가 필드 환경에서 발생하였음. 수평축 튜닝을 할 때, FB 제어는 문제가 발생하지 않았으나 FFF 제어를 하게 되면 베이스 센서의 심각한 스윙이 발생하였음. 따라서, 엑츄에이터의 보호를 위해 FFF 게인을 많이 올리지 못함. FB 성능보다 FFF 성능에 의존하는 U_type의 경우에는 필드에서 성능 발휘가 힘든 점이 있을 것으로 생각됨. 현재 사용 중인 튜닝 프로그램(M_type용-쇼와)이 U_type에 맞지 않을 수 있다는 다나카 부장의 의견도 있었기 때문에, 프로그램과 관련된 점검을 진행할 예정임.
첨부 1. 내장 프로그램 성능 측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
첨부2. 진동환경 측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일05-26-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
KRISS
Korea Research Institute of Standards and Science
FE SEM
UB700
P1
VC-Class


