UB1000 P2 Chengdu China Business Trip Report — Zeiss EVO 18 SEM (2016-09-02)
목차
중국 출장 보고서 (UB1000_P2 Set up)
타겟 장비명 – EVO 18 ( ZEISS SEM )
장비 설치 사진
출장일: 16.08.30 ~ 16.09.01
출장자: 최형문, 임종욱
작성일: 2016.09.02
※ 출장 일정
16.08.30
-출국, 중국 청두 도착
16.08.31
-UB1000_P2 셋업 진행
-장비 이미지 확인
-진동 환경 측정 및 고객 대응
16.09.01
-추가 장비 설치, 성능 재측정. 성능양호.
-귀국
설치 결과 요약
| Test Direction | VC-Class | |
|---|---|---|
| Base | Top | |
| ACTIVE | Z | B |
| X | E | |
| Y | D | |
PASSIVE 상태가 양호하며, ACTIVE 성능이 10Hz 부근에서 -30dB 수준으로 양호함.
PASSIVE의 경우 Z축은 가진을 통해 깔끔한 데이터를 얻었으나, 수평축은 데이터가 정확하지 않았기 때문에 손으로 흔들어서 PASSIVE 상태를 가늠하였음. (첨부파일 #1 참조)
바닥 진동환경은 수직축 B Class, 수평축 X는 E Class, 수평축 Y는 D Class로 측정되었음.
액티브 시 제진대 상판 진동환경은 수직축 E Class, 수평축 X는 D Class, 수평축 Y는 E Class로 측정되었음. (첨부파일 #2 참조)
X축에서 Base보다 Top의 성능이 나쁘게 보이는 것은 70Hz의 피크 때문임.
전 방향의 70Hz 부근에 피크가 발생하고 있으며, 장비 내부의 팬 때문임. 확인을 위해 SEM 장비의 ON/OFF에 따른 성능 그래프를 비교하였음. (첨부파일 #3 참조)
장비의 이미지 확인 결과, NEMO와 고객이 성능에 대해 만족함.
특이사항 (PASSIVE)
Case 1 : 스프링 8개 모두 사용 시 ( Z축 기준 )
PASSIVE 공진점 약 12~13Hz정도에 나타남.
ACTIVE 시 최대 성능 -22dB로 확인.
Case 2 : 스프링 4개 사용 시 , 아래 그림 참조 ( Z축 기준 )
PASSIVE 공진점 약 5Hz정도에 나타남.
ACTIVE 시 최대 성능 -35dB로 확인.
PASSIVE 스프링 Case 2 비교 그림 (Z축)
첨부파일 #1 내장 프로그램 성능 측정 결과
Z axis (PASSIVE)
Z axis (ACTIVE)
X axis (ACTIVE)
Y axis (ACTIVE)
첨부파일 #2 진동환경 측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
첨부파일 #3 SEM 장비의 ON/OFF에 따른 성능 그래프 비교
Z Axis — SEM 장비 ON
Z Axis — SEM장비 OFF
X Axis — SEM장비 ON
X Axis — SEM장비 OFF
Y Axis — SEM장비 ON
Y Axis — SEM장비 OFF
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