Little Swan UB1000 P6 China Business Trip Report — Zeiss EVO 18 SEM (2018-05-10)

타겟 장비명 – EVO 18 ( ZEISS SEM )

출장자: 최성원

출장일: 18.05.10

작성일: 2018.05.14

PASSIVE 상태가 양호하며, ACTIVE 성능이 10Hz 부근에서 -26~-30dB 수준으로 양호함.

PASSIVE의 경우 데이터가 정확하지 않았기 때문에 손으로 흔들어서 PASSIVE 상태를 가늠하였음.

바닥 진동환경은 수직축 D Class, 수평축 X는 E Class, 수평축 Y는 E Class로 측정되었음.

액티브 시 제진대 상판 진동환경은 수직축 E Class, 수평축 X는 E Class, 수평축 Y는 E Class로 측정되었음.

Class 개선효과가 부족한 것은 1~2Hz의 저주파 대역에서 제진효과가 거의 없기 때문이며, 이외의 영역에서는 충분한 제진효과가 있음.

장비의 이미지는 현미경 세팅 미완료로 확인할 수 없었음.