설치 보고서

DVIA-ULF Series

03-26-2025

SpaceX Thermo Fisher Scientific FIB-SEM DVIA-U1000 Installation Report

DVIA-U Series

Installation Report

Thermo Fisher Scientific

SpaceX

개요

DVIA-U1000의 공진 주파수가 예상보다 약간 높습니다. 성능은 양호하나 기대치에 미치지 못하며, DVIA-U1000의 스프링을 조정하면 성능이 개선될 것으로 예상됩니다.

제진 시스템 정보

모델: DVIA-U1000

시리얼 번호: 241204R5

엔지니어

대일시스템 개발팀 정성윤 연구원

튜닝 일자

2025년 3월 26일

최종 사용자

SpaceX

튜닝 횟수

1차 튜닝

설치 위치

미국 캘리포니아

장비 정보

제조사: Thermo Fisher Scientific

장비: FIB-SEM

모델: Quattro

장비 상태

장비 설치 완료/대기 상태

데이터 및 이미지

스프링 조정

패시브 전달률(액티브 Off)

오픈루프 튜닝

전달률(액티브 On)

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-ULF Series

작성일03-26-2025

태그

DVIA-U Series

Installation Report

Thermo Fisher Scientific

SpaceX

SpaceX Thermo Fisher Scientific FIB-SEM DVIA-U1000 Installation Report

목차

개요

제진 시스템 정보

엔지니어

튜닝 일자

최종 사용자

튜닝 횟수

설치 위치

장비 정보

장비 상태

데이터 및 이미지

스프링 조정

Reference

일반 진동 기준

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